创新点1.专利保护MyAutoView的光斑可视功能,可对薄膜样品直接观测测量光斑和样品表面,简单直接,提高测量精确度。直接观测测量点,可极快地准确判断测量点位置,避免光斑落在污点处,同时对于有图形的薄膜，配合自动平台，可以准确地定位微光斑，快速地进行椭偏测量。 2.全自动样品水平调整系统,可自动找平测量表面,使测量更简单。 3.Uvisel 2采用反射式结构(无色差)微光斑技术,对于激发波长均保证光斑大小相同。8种光斑尺寸,包括目前世界上Z小的35um无色差微光斑,极大地提供了空间分辨率。 4.190-1000nm分光系统采用双级单色仪,具有更高的杂散光YZ率,有效减少测量时间,保证数据在高精度,高信噪比下快速测量。 5.采用新的双级分光系统和电学反馈系统,使整体测量速度大幅提高,190-1000nm仅需60秒就可得到高精度,高分辨率测试结果,190-2100nm范围仅需5分钟。
仪器介绍： UVISEL2是一款完全革新的全自动光谱型椭偏仪。继承并发展了经典机型UVISEL的高准确性、高灵敏度和高稳定性等技术特点的同时，配备革新的可视系统，多达8个尺寸微光斑选项，Z小达35×85μm2，适用于所有薄膜材料研究领域。是目前市场上的机型。
技术参数：·光谱范围：190-2100 nm
·8种光斑尺寸: Z小35 X 85 um
·探测器：3个独立探测器，分别优化紫外，可见和近红外
·自动样品台尺寸：200mm X 200mm；XYZ方向自动调节; Z轴高度>35mm
·样品水平度自动调整
·自动量角器：变角范围35°- 90°，全自动调整，Z小步长0.01°
主要特点：·完全自动化设计，自动对焦、校正
·全新光路、电路设计，测量精度更高，速度更快
·50KHz高频PEM相调制技术，测量光路中无运动部件
·双光栅光谱仪系统，杂散光YZ水平高
·8个尺寸微光斑，专利可视技术
·自动平台样品扫描成像
