美国OAI 458用于高强度步进式晶片曝光机的紫外线高强度和能量计

 美国OAI公司458型紫外光度计
用于高强度步进式晶片曝光机的紫外线高强度和能量计

基于微处理器的458型紫外线光强和能量系统准确地测量曝光能量（剂量），以评估步进器的性能。它设计用于ASML高强度、佳能、尼康和超技术高强度晶片步进器。读取365、400、420和436 nm波长的强度、能量和时间（4000 mW/cm²、999.9 mJ/cm²）。可选的RS232电缆可与458软件一起工作，将测量数据发送到计算机。

应用

458型非常适合各种需要精确测量紫外线能量的行业，适用于任何需要重复、可靠的紫外线测量的应用。特别适合于芯片生产中的需要。

硬件特点：

平均至多9次曝光

数字显示提供清晰、NIST可追踪的测量结果

测量强度、时间和能量

记录一系列曝光的偏差百分比

探针波长显示有助于防止设置错误

简单的按钮操作提供可靠的结果

下载并记录分析仪测量结果的RS 232输出

可拆卸探针，以匹配许多光敏电阻的光谱响应。

显示读数可能冻结

前面板提醒提示用户

坚固的铝制外壳，手柄和探针袋方便携带

 

备注：365、400、420和436 nm传感器根据自己的需要选择一个要单独购买；R-232线缆（只有购买线缆，才可进行数据下载）也要单独购买。
     主机和探头定期（1-2年）进行校准，目前只能返厂校准，有费用产生。