等离子清洗机/超声波清洗机/玻璃器皿清洗机（Plasma Cleaner）

技术参数

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日本YAMATO等离子清洗机、等离子灰化机、等离子蚀刻机
　　
ＰＤＣ２００/２１０型等离子清洗机

【简　介】
本产品是用等离子来进行表面处理的专业装置。
桌台式，具有高性能，力求操作简便，快捷，可
显示数据。
广泛应用于以电子材料为ZX的各个行业中。

【用 途】
●　用于ＣＳＰ5380;ＢＧＡ5380;ＣＯＢ基板的等离子处理
●　消除有机膜，金属酸化膜
●　用于印刷电路板的干式清洗
●　界面活性处理

【特 徵】
●　ＲＩＥ／ＤＰ模式
●　采用的电极构造可使等离子分布均匀　　　　　　　　　　　　　　　　　(((8hhh
●　便于操作的触摸屏

【规　格】
型号 PDC 200 / 210
等离子的发生模式 付带ＲＩＥ/ＤＰ切换器
电极构造　　　　　　　　　　 平行平板（电极固定）
高频输出 300W / 500Ｗ
振荡频率 １３.５６MHz 石英晶体发振
控制・显示 液晶触摸屏
内槽尺寸 宽400×深250×高150mm
载物台尺寸（有効） 宽250×深170mm
内槽材料 铝材
反应气体 ２系统（氩气，氧气）
清洗气体 氮气或干性气体
反应气体的流量控制 流量计 / 流量控制器
真空泵 / 旋转式真空泵（约345L/分）
气体输入口 反应气体用２个、清洗用１个
外形尺寸 宽540×深600×高600mm
电源 AC单相100V(50/60Hz)1 / AC三相200V(50/60Hz)1




德国等离子清洗机

此离子清洗机可用于清洁、刻蚀、磨砂和表面准备等。可选择40KHz、13.56MHz和2.45GHz三种射频发生器，以适应不同的清洁效率和清洁效果需要。

小型等离子清洗、刻蚀机具有成本低廉、操作灵活的特点，主要适合于大学、科研机构高科技生产单位的以下场合：

· 半导体开发

· 集成电路开发

· 真空电子行业

· TEM、SEM样品及支架清洁

· 生命科学实验

与动辄十几万美元的大型产品相比GALA等离子清洁、刻蚀机具有以下优点

1、可以更灵活地操作，简便地改变处理气体的种类和处理程序。

2、不会对科研人员的身体造成任何伤害。

3、其成本对于等离子处理方法来说是微不足道的。

此等离子设备广泛应用于等离子清洗、刻蚀、等离子镀、等离子涂覆、等离子灰化和表面改性等场合。通过其处理，能够改善材料的润湿能力，使多种材料能够进行涂覆、镀等操作，增强粘合力、键合力，同时去除有机污染物、油污或油脂。

其具体应用包括：

1、塑料、玻璃和陶瓷表面活化

玻璃、陶瓷和塑料（如聚丙烯、PTFE等）基本上是没有极性的，因此这些材料在进行粘合、油漆和涂覆之前要进行表面活化处理。

2、金属去油及清洁

金属表面常常会有油脂、油污等有机物及氧化层，在进行溅射、油漆、粘合、健合、焊接、铜焊和PVD、CVD涂覆前，需要用等离子处理来得到完全洁净和无氧化层的表面。

焊接操作前：通常印刷线路板在焊接前要用化学助焊剂处理。在焊接完成后这些化学物质必须采用等离子方法去除，否则会带来腐蚀等问题。

键合操作前：好的键合常常被电镀、粘合、焊接操作时的残留物削弱，这些残留物能够通过等离子方法有选择地去除。同时氧化层对键合的质量也是有害的，也需要进行等离子清洁。

3、等离子刻蚀

特 点：

· 操作简便、成本低廉

· 处理舱 9.5cm x 27 cm和 15cm x 31.5 cm，可以分层方置样品

· 不锈钢处理舱（其他厂家多采用铝制）

· GX真空电极

· 气体流量通过流量计和针阀实现精确控制

· 手动过程控制

· 功率可在200W以内调节控制（完全能够能够满足清洁需要，200W以上功率用于刻蚀）

· 自动阻抗匹配

· 自由设置参数：处理时间、功率、气体、压力

· 安全保护功能：真空触发、舱门锁



FEMTO型等离子清洗机

* 反应舱10cm x 27 cm, 水平 (2 升)

* 不锈钢反应舱体

* 40KHz 射频发生器

* GX针孔电极

* 铜气体管、气体流量计、 针阀

* 使用气体流量计和针阀控制气体

* 自动计时器控制等离子处理过程

* 半自动控制

* 功率0-100W

* 自动阻抗匹配

* 自由设置参数：处理时间、功率、气体、压力

* 安全保护功能：真空触发、舱门锁

* 电磁阀保护，回流油雾不能进入反应舱

* 规格：35 cm（W）×25 cm(H)× 60 cm(D) 重量 20 kg （不含真空泵）

* 电源 230V/50Hz; 110V/60Hz

选装件

DUO 5 2级真空泵 5m3/h, 3x10-2 mbar （普通油）

稳流调节阀 采用氧气和普通真空油时

油雾过滤器 EMF10

化学回旋器 缓和泵送气体

化学回旋器用活性炭



PICO型等离子清洗机
* 反应舱 15cm x 32 cm, 水平 (5 升)
* 不锈钢反应舱体
* 40KHz 射频发生器
* GX针孔电极
* 数字计时器可自动设定操作程序
* 皮拉尼真空泵可设定重复操作
* 铜气体管、气体流量计、 针阀
* 使用气体流量计和针阀控制气体
* 自动计时器控制等离子处理过程
* 半自动控制
* 功率可调到 200 W
* 自动阻抗匹配
* 自由设置参数：处理时间、功率、气体、压力
* 安全保护功能：真空触发、舱门锁
* 电磁阀保护，回流油雾不能进入反应舱
* 规格：60 cm（W）×30 cm(H)× 60 cm(D) 重量 35 kg （不含真空泵）
* 电源 230V/50Hz; 110V/60Hz

选装件
DUO 5 2级真空泵 5m3/h, 3x10-2 mbar 双气体配置：管路、流量计、针阀
13.56 MHz 射频发生器 2.45 GHz 射频发生器
油雾过滤器 EMF10 化学回旋器 缓和泵送气体
化学回旋器用活性炭

主要特点

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