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电子行业用金相显微镜(6英寸移动平台)

产品信息
  • 仪器介绍

    MM150是国产大行程显微镜中的产品,专为6英寸及以下的集成电路硅片在线检查和实验室分析设计.具有成像清晰,工作距离长,使用便利,应用软件丰富的特点.是一款性价比非常的微电子工业与科研用显微镜.

    技术参数

    1,显微镜观察方法:各个倍数下均可以进行明场,暗场,简易偏光观察,观察清晰度好.
    2,机械结构:正置式 三目镜筒 倾角30°
    3,光学系统: 无限远光学系统
    4,物镜种类: 无限远光学,平场消色差,确保目镜视场为25mm时各个镜头视野平坦.
    5,物镜数量和参数:
    1) 4X: 数值孔径(N.A) 0.10, 明场,暗场,偏光通用
    2)10X: 数值孔径(N.A) 0.25, 明场,暗场,偏光通用
    3)20X: 数值孔径(N.A) 0.40, 明场,暗场,偏光通用
    4)40X: 数值孔径(N.A) 0.60, 明场,暗场,偏光通用
    5)100X: 数值孔径(N.A) 0.80, 明场,暗场,偏光通用
    6,目镜: 10X,视场直径(F.N) 25mm,瞳距和屈光度可调,带10/100mm 刻度
    7,光学有效放大: 40X-1000X(物镜倍率X目镜倍率)
    8,照明器:
    1)反射柯勒照明,12V 100W长寿命卤素灯照明,电压数显可调
    2)带视场光阑(FS)和孔径光阑(AS)
    3)滤色片:内装蓝色,黄色,绿色,中灰四种
    9,调焦机构: 同轴粗微调,微调Z小刻度2微米,粗调上下行程40MM
    10,载物台: 行程152X152MM(6英寸),有硅片专用圆形旋转托盘,两个手柄分别做样品的快速移动和微小移动

    主要特点

    1,光学系统:国际领先的主流光学系统-无限远光学系统。
    2,物镜品质:平场消色差和平场半复消色差物镜。
    3,目镜视野:25mm超宽超平场视野。标准配置。
    4,机械结构:高刚性,高稳定性结构,大气坚固。
    5,数码成像:预留大视场数码接口,各种数码成像系统,应用软件

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