仪器介绍
在此之前近三十年的时间，KYKY生产的氦质谱检漏仪的Z小可检漏率指标为5×10-11Pa• m3/s，此次开发的出542型检漏仪的Z小可检漏率达到0.75×10-12Pa• m3/s。
技术参数
技术规格
1.使用方便：一键操作，全量程校准，快速启动，循环检测
2.性能可靠：5×105次循环检漏，两区域复合操作面板，4级操作权限适用不同操作者
3.功能强大：三种检漏方式（Normal，Gross，Sniffer），检漏灵敏度涵盖12个数量级，具有自身防氦污染功能
4.技术领先：多种计量单位mbar·l/s，Pa·m3/s，Torr·l/s，适用各种用户，具有RS232通讯功能
重量：65千克 （65kg）
尺寸：长×宽×高（mm）：535×410×440
主要特点
性能指标
1.Z小可检漏率：＜5×10-12Pa·m3/s
2.测量范围：5×10-12~1 Pa·m3/s
3.允许检漏口压强：1000Pa
4.响应时间：＜1s
5.启动时间：＜2min
6.检漏口对He抽速：1.3l/s
7.工作温度：0°－ 45°
