半自动探针台SCG

型号		SCG-O-2	SCG-O-4
外形		1500*1200*800mm	1900*1400*900mm
重量		300KG	350KG
电力需求		AC220V,50~60HZ
样品台	尺寸	2inch	4inch
	样品固定方式	真空导热硅脂/弹簧压片
	样品台移动	2*2inch，电动	4*4inch，电动
	样品台移动	1um	1um
	正压环境	5个大气压
	真空度	10^-3Pa
光学特性	显微镜行程	2*2inch	4*4inch
	放大倍数	变焦：7:1分辨率5μm (放大倍数216X）或者选用金像显微镜（20X~1000X）
	真空腔观察窗尺寸	2inch	4inch
	CCD像素	50W（模拟）/200W（数字）/500W（数字）
温控规格	制冷方式	液氮/液氦
	控制方式	开循环手动/自动冷媒流量控制
	控温范围	77K~480K/4.2K~480K
	控温分辨率	0.001K
	温度稳定性	4.2K   ±0.2K                  77K   ±0.1K
		373K   ±0.1K                  473K  ±0.1K
		823K   ±0.2K(可选）            973K  ±1.0K(可选）
	常温到8K冷却时间	90min
	8K到常温升温时间	90min
	常温开始的升温时间	100℃        150℃           200℃
		30min        50min           80min
	加热电源	LVDC 低压直流
	传感器	硅二极管
	传感器数量	样品台，防辐射屏，探针臂各一个
	功率	50W/100W/500W/1000W
点针规格	探针数量	2个/4个/6个
	探针调节	真空波纹管外部调节，三轴机械手
	点针精度	10微米/2微米/0.7微米
	X-Y-Z行程	25mm-25mm-25mm
	漏电精度	10pA/100fA
	接口形式	三轴/SMA/K/光纤接口
软件功能		晶圆Map编辑
		测试仪器加载
		自动运动控制
		视觉运动补偿
		数据采集分析
		参数一体化显示
应用方向		高低温真空环境下的晶圆测试，MEMS测试，材料测试，霍尔测试，电磁输运特性等
可选附件		防震桌
		多级压缩制冷机
		机械泵/分子泵组/离子泵
		射频部件
		Chuck运动装置
		电磁铁系统/超导磁铁系统
		超高温升级选件
		超高真空升级选件
		超高压力升级选件
		客户特殊定制