特殊设计 可根据用户特殊要求重新设计,为您提供一个简单、可靠和准确的取样方案。特点1、法兰连接或快装接头连接
2、结构简单,性能稳定
3、极少死区,可选氮吹及预吹扫
4、可选取样探针,保证样品具有代表性
5、也适用低压或负压制程等