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台湾森积科技有限公司RTA快速退火炉  电弧炉  晶体生长炉  热处理炉  热压炉 

产品信息
  • 台湾森积科技有限公司RTA快速退火炉  电弧炉  晶体生长炉  热处理炉  热压炉 

    抽屜式 RTA - R-401 2"4"單片

    • 加熱區:四區加熱設計,共 150X150
    • 溫度: 1, 操作溫度1000
    • 均溫區: 0 1100 ±3
    • 適用晶片: 破片~4" Wafer
    • 外觀尺寸: 500 x 500 x H1060 mm
    • 升溫速率:1~100/ UP
    • 模組化加熱體:加熱元件隔熱材料採用冷壁式設計
    • 隔熱:採用氣體與冷卻水雙重冷卻
    • 熱電偶:k- type 合金測溫線
    • 進口數位可程式溫度控制器:一組 16 or 30 300
    • 電力需求:220V / 100A / 1 0 1 1 025000W
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    抽屜式RT

    台湾森积科技有限公司  R-8160  2" x 16 or  8" 單片

    • 加熱區:6 區設計,250X250
    • 均溫區: 0 1200 ±3
    • 適用晶片: 2"x16pc or 8"x1pc Wafer
    • 操作溫度:1000
    • 升溫速率:1~100/ UP
    • 模組化加熱體:加熱元件隔熱材料採用冷壁式設計
    • 隔熱:採用氣體與冷卻水雙重冷卻
    • 熱電偶:k- type 合金測溫線
    • 進口數位可程式溫度控制器:一組 16 or 30 300
    • 電力需求:220V / 100A / 1 0 1 1 025000W
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    台湾森积科技有限公司r : 2Tube RTA
    • 類型:近紅外線高溫型
    • 溫度範圍:室溫~1,200?()
    • 加熱速率:50C/s 真空中
    • 溫度均溫區: ±2 at 1200C 真空中
    • 加熱氣氛:大氣中、真空中、不活性氣體
    • 試料區尺寸:20mm x 20mm x 2.0tmm ()
    • 溫度控制器感測器:JIS熱電偶 K固定
    • Lamp型式:1kW-4-100V
    • 程式模組:溫度對時間設定、Stmp256Progrm32()PID+fuzzy 控制、自動微調、USB通信機能、自動/手動操作等多數機能
    • 外觀尺寸:約260W x 169H x 355D
     
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