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-135℃ 水汽捕集泵

产品信息
  • -135℃ 水汽捕集泵


    应用原理:
        在使用油扩散泵的高真空环境中都存在着一定的残余气体,80%以上是水蒸汽、油蒸汽及其它高沸点的蒸汽,但其抽除残余气体的能力低,时间长,而且所有残余气体还是工件的污染源,从而使产品的产量和质量受到影响。深冷泵则是解决这类问题的上佳选择。
        深冷泵的工作原理:将一个能到-120℃以下的制冷盘管,放置在真空室中或油扩散泵的泵口,通过其表面的低温冷凝效应,迅速捕集真空系统的残余气体。从而大大缩短抽真空的时间(可缩短60-90%的抽气时间)、获得洁净的真空环境(真空度可提高半个数量级,达到10-8 Torr、10-5 Pa)。

     

    TH-135-3P
    TH-135-5P
    TH-135-7P
    TH-135-10P
    TH-135-12P
    TH-135-15P
    压缩机功率(KW)
    2.8
    4.6
    6.3
    8.5
    10.1
    12.3
    工作温度(℃)
    -100-140
    抽气速度(l/s
    30600
    51000
    73000
    101000
    153000
    250000
    制冷量(W
    300
    500
    1200
    1800
    2500
    3500
    冷凝管表面积(m2)
    0.15
    0.3
    0.5
    0.7
    1.0
    2. 0
    冷凝管长度
    8m,φ6mm
    10m,φ10mm
    12m,φ12mm
    14m,φ16mm
    24m,φ16mm
    40m,φ16mm
    预冷时间(min
    ≤30
    ≤30
    ≤30
    ≤30
    ≤40
    ≤40
    降温时间(min
    ≤5
    ≤5
    ≤5
    ≤5
    ≤6
    ≤7
    除霜时间(min)
    ≤3
    ≤3
    ≤3
    ≤3
    ≤3
    ≤3
    再降温时间(min)
    ≤5
    ≤5
    ≤5
    ≤5
    ≤6
    ≤6
    适用油扩散泵径(mm
    ≤300
    ≤500
    ≤800
    ≤1000
    双路输出
    双路输出
    冷却方式
    风冷、水冷(t≤30℃)
    水冷(t≤30℃)
    水冷(t≤30℃)
    水冷(t≤30℃)
    水冷(t≤30℃)
    适用腔体直径(mm
    ≤900
    ≤1300
    ≤1500
    ≤1700
    ≤2000
     
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