| 型名 | BS78 |
| 有効長:L(mm) | 10/40/70/120/170/220/270/320/370/420(10はN/NSのみ) |
| スケール全長 | 58mm(有効長10mm:片持ちタイプ) 有効長+26mm(有効長40~420mm) |
| 可動長 | 有効長+2mm(有効長10mm:片持ちタイプ)有効長+10mm(有効長40~420mm) |
| 精度(20℃にて) | - NSタイプ/RSタイプ:
- ±0.03μm(有効長10mm)(NSタイプのみ)
- ±0.04μm(有効長40mm)
- ±0.10μm(有効長70/120mm)
- ±0.18μm(有効長170/220mm)
- ±0.25μm(有効長270mm)
- ±0.34μm(有効長320mm)
- ±0.39μm(有効長370mm)
- ±0.44μm(有効長420mm)
| - Nタイプ、Rタイプ:
- ±0.06μm(有効長10mm)(Nタイプのみ)
- ±0.08μm(有効長40mm)
- ±0.20μm(有効長70/120mm)
- ±0.35μm(有効長170/220mm)
- ±0.50μm(有効長270~370mm)
- ±0.65μm(有効長420mm)
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| 格子ピッチ | 約0.55μm |
| 信号波長 | 約0.138μm(約138nm) |
| 原点精度 | ±0.1μm(R/RSタイプのみ) |
| 原点位置 | ZYおよびZYから左右へ各50mm毎(320、370、420mmの有効長のみ50mm間隔でZYより20mmオフセット) |
| 原点検出方向 | 片方向 |
| 戻り誤差 | 原理的にありません。 |
| 繰返し精度 | 原理的にありません。 |
| 温度膨張係数 | -0.7×10-6/℃ |
| 光源 | 半導体レーザ 波長790nm 出力6mW |
| 放射パワー | DHHSクラス1 |
| 検出方式 | 回折格子走査式 |
| 使用温度範囲 | 10℃~30℃(結露不可) |
| 保存温度範囲 | -10℃~50℃(湿度60%以下) |
| 応答速度 | 400mm/s(BD96接続時) |