华阴激光椭偏仪 椭偏仪 行业领先
- 产地:中国大陆
- 供应商:河北慧采科技有限公司
- 供应商报价:电议
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| $n 项目 $n | $n $n 技术指标 $n | $n
| $n 仪器型号 $n | $n $n EM13 LD/635 (或其它选定波长) $n | $n
| $n 激光波长 $n | $n $n 635 nm (或其它选定波长,高稳定半导体激光器) $n | $n
| $n 膜厚测量重复性(1) $n | $n $n 0.5nm (对于平面Si基底上100nm的SiO2膜层) $n | $n
| $n 折射率测量重复性(1) $n | $n $n 5x10-3 (对于平面Si基底上100nm的SiO2膜层) $n | $n
| $n 单次测量时间 $n | $n $n 与测量设置相关,典型3s $n | $n
| $n 的膜层范围 $n | $n $n 透明薄膜可达1000nm $n 吸收薄膜则与材料性质相关 $n | $n
| $n 光学结构 $n | $n $n PSCA(Δ在0°或180°附近时也具有极高的准确度) $n | $n
| $n 激光光束直径 $n | $n $n 2mm $n | $n
| $n 入射角度 $n | $n $n 40°-90°可手动调节,步进5° $n | $n
| $n 样品方位调整 $n | $n $n Z轴高度调节:±6.5mm $n 二维俯仰调节:±4° $n 样品对准:光学自准直和显微对准系统 $n | $n
| $n 样品台尺寸 $n | $n $n 平面样品直径可达Φ170mm $n | $n
| $n 外形尺寸 $n | $n $n 887 x 332 x 552mm (入射角为90º时) $n | $n
| $n 仪器重量(净重) $n | $n $n 25Kg $n | $n
| $n 选配件 $n | $n $n 水平XY轴调节平移台,真空吸附泵 $n | $n
| $n 软件(ETEM) $n | $n $n * 中英文界面可选 $n * 多个预设项目供快捷操作使用 $n * 单角度测量/多角度测量操作和数据拟合 $n * 方便的数据显示、编辑和输出 $n * 丰富的模型和材料数据库支持 $n | $n

| $n 项目 $n | $n $n 技术指标 $n | $n
| $n 仪器型号 $n | $n $n EX2 $n | $n
| $n 测量方式 $n | $n $n 自动测量 $n | $n
| $n 样品放置方式 $n | $n $n 水平放置 $n | $n
| $n 光源 $n | $n $n He-Ne激光器,波长632.8nm $n | $n
| $n 膜厚测量重复性* $n | $n $n 0.5nm (对于Si基底上100nm的SiO2膜层) $n | $n
| $n 膜厚范围 $n | $n $n 透明薄膜:1-4000nm $n 吸收薄膜则与材料性质相关 $n | $n
| $n 折射率范围 $n | $n $n 1.3 – 10 $n | $n
| $n 探测光束直径 $n | $n $n Φ2-3mm $n | $n
| $n 入射角度 $n | $n $n 30°-90°,精度0.05° $n | $n
| $n 偏振器方位角读数范围 $n | $n $n 0-360° $n | $n
| $n 偏振器步进角 $n | $n $n 0.014° $n | $n
| $n 样品方位调整 $n | $n $n Z轴高度调节:16mm $n 二维俯仰调节:±4° $n | $n
| $n 允许样品尺寸 $n | $n $n 样品直径可达Φ160mm $n | $n
| $n 配套软件 $n | $n $n * 用户权限设置 $n * 多种测量模式选择 $n * 多个测量项目选择 $n * 方便的数据分析、计算、输入输出 $n | $n
| $n 外形尺寸 $n | $n $n 约400*400*250mm $n | $n
| $n 仪器重量(净重) $n | $n $n 约20Kg $n | $n
| $n 选配件 $n | $n $n * 半导体激光器 $n | $n

| $n 项目 $n | $n $n 技术指标 $n | $n
| $n 仪器型号 $n | $n $n EM12-PV $n | $n
| $n 激光波长 $n | $n $n 632.8nm (He-Ne Laser) $n | $n
| $n 膜厚测量重复性(1) $n | $n $n 0.2nm (对于平面Si基底上100nm的SiO2膜层) $n | $n
| $n 0.2nm (对于绒面Si基底上80nm的Si3N4膜层) $n | $n |
| $n 折射率精度(1) $n | $n $n 2x10-3 (对于平面Si基底上100nm的SiO2膜层) $n | $n
| $n 2x10-3 (对于绒面Si基底上80nm的Si3N4膜层) $n | $n |
| $n 单次测量时间 $n | $n $n 与测量设置相关,典型1.6s $n | $n
| $n 光学结构 $n | $n $n PSCA(Δ在0°或180°附近时也具有极高的准确度) $n | $n
| $n 激光光束直径 $n | $n $n 1-2mm $n | $n
| $n 入射角度 $n | $n $n 40°-90°可手动调节,步进5° $n | $n
| $n 样品方位调整 $n | $n $n 一体化样品台轻松变换可测量单晶或多晶样品 $n | $n
| $n 可测量156*156mm电池样品上每个点 $n | $n |
| $n Z轴高度调节:±6.5mm $n | $n |
| $n 二维俯仰调节:±4° $n | $n |
| $n 样品对准:光学自准直显微和望远对准系统 $n | $n |
| $n 样品台尺寸 $n | $n $n 平面样品直径可达Φ170mm $n | $n
| $n 兼容125*125mm和156*156mm的太阳能电池样品 $n | $n |
| $n 的膜层厚度范围 $n | $n $n 粗糙表面样品:与绒面物理结构及材料性质相关 $n | $n
| $n 光滑平面样品:透明薄膜可达4um,吸收薄膜与材料性质相关 $n | $n |
| $n 外形尺寸 $n | $n $n 887 x 332 x 552mm (入射角为90º时) $n | $n
| $n 仪器重量(净重) $n | $n $n 25Kg $n | $n
| $n 选配件 $n | $n $n 水平XY轴调节平移台 $n | $n
| $n 真空吸附泵 $n | $n |
| $n 软件 $n | $n $n ETEM软件: $n | $n
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| 型号:JX200096EM13 LD系列多入射角激光椭偏仪 | $n型号:JX200090EX2自动椭圆偏振测厚仪 | $n型号:JX200094EM12-PV 精致型多入射角激光椭偏仪(光伏专用) | $n