德国BMT WLIRing 白光干涉仪

德国BMT WLIRing 干涉仪

 

德国BMT WLIRing 干涉仪
该测量系统用于快速准确测量圆柱形工件的表面形貌，计算粗糙度参数，微型结构，及内外部表面特征。 

特点

l   对内外层都可进行测量

l   光滑粗糙表面都可进行测量

l   测量结果不受工件的颜色和材料影响

l   数秒内进行快速测量

l   用于在线测量的OEM测量头

技术参数

测量头

l   光源：LED

l   垂直分辨率（nm）：<1

l   水平分辨率（μm）：≥1  

l   焦距，大约（mm）：1

l   测量区域的尺寸：由物体决定

l   图像尺寸（Pixel）：1000×1000 

移动平台 

l    Z轴（mm）：10～50

l    步进速度（μm/min）：1