白银多角度成像光谱仪|sentech椭偏仪|质量好,安全性能高
- 产地:中国大陆
- 供应商:河北慧采科技有限公司
- 供应商报价:电议
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型号:JX200092ETSys-Map-PV在线薄膜测量系统 | $n型号:JX200099EMPro 型多入射角激光椭偏仪 | $n型号:JX200097EM01-RD 多入射角激光椭偏仪 | $n
$n 项目 $n | $n $n 技术指标 $n | $n
$n 系统型号 $n | $n $n ETSys-Map-PV $n | $n
$n 结构类型 $n | $n $n 在线式 $n | $n
$n 激光波长 $n | $n $n 632.8nm (He-Ne laser) $n | $n
$n 膜厚测量重复性(1) $n | $n $n 0.05nm (对于Si基底上100nm的SiO2膜层) $n | $n
$n 折射率n精度(1) $n | $n $n 5x10-4 (对于Si基底上100nm的SiO2膜层) $n | $n
$n 结构 $n | $n $n PSCA $n | $n
$n 激光光束直径 $n | $n $n ~1 mm $n | $n
$n 入射角度 $n | $n $n 60°-75°可选 $n | $n
$n 样品放置 $n | $n $n 放置方式:水平 $n 运动:X轴单方向运动 $n 运动范围:>1.4m $n 三维平移调节 $n 二维俯仰调节 $n 可对样品进行扫描测量 $n | $n
$n 样品台尺寸 $n | $n $n 1.4m*1.1m,并可定制。 $n | $n
$n 测量速度 $n | $n $n 典型0.6s-4s /点(取决于样品种类及测量设置) $n | $n
$n 的膜层厚度测量范围 $n | $n $n 光滑平面样品:透明薄膜可达4000nm,吸收薄膜与材料性质相关 $n | $n
$n 选配件 $n | $n $n 样品监视系统 $n 自动样品上片系统 $n | $n
$n
$n 项目 $n | $n $n 技术指标 $n | $n
$n 仪器型号 $n | $n $n EMPro31 $n | $n
$n 激光波长 $n | $n $n 632.8nm (He-Ne Laser) $n | $n
$n 膜厚测量重复性(1) $n | $n $n 0.01nm (对于平面Si基底上100nm的SiO2膜层) $n | $n
$n 折射率测量重复性(1) $n | $n $n 1x10-4 (对于Si基底上100nm的SiO2膜层) $n | $n
$n 单次测量时间 $n | $n $n 与测量设置相关,典型0.6s $n | $n
$n 结构 $n | $n $n PSCA(Δ在0°或180°附近时也具有极高的准确度) $n | $n
$n 激光光束直径 $n | $n $n 1mm $n | $n
$n 入射角度 $n | $n $n 40°-90°可手动调节,步进5° $n | $n
$n 样品方位调整 $n | $n $n Z轴高度调节:±6.5mm $n 二维俯仰调节:±4° $n 样品对准:光学自准直和显微对准系统 $n | $n
$n 样品台尺寸 $n | $n $n 平面样品直径可达Φ170mm $n | $n
$n 的膜层范围 $n | $n $n 透明薄膜可达4000nm $n 吸收薄膜则与材料性质相关 $n | $n
$n 外形尺寸 $n | $n $n 887 x 332 x 552mm (入射角为90º时) $n | $n
$n 仪器重量(净重) $n | $n $n 25Kg $n | $n
$n 选配件 $n | $n $n 水平XY轴调节平移台 $n 真空吸附泵 $n | $n
$n 软件 $n | $n $n ETEM软件: $n l 中英文界面可选; $n l 多个预设项目供快捷操作使用; $n l 单角度测量/多角度测量操作和数据拟合; $n l 方便的数据显示、编辑和输出 $n l 丰富的模型和材料数据库支持 $n | $n
$n 激光波长 $n | $n $n 632.8nm (He-Ne laser) $n | $n
$n 膜厚测量重复性 $n | $n $n 0.01nm (对于Si基底上110nm的SiO2膜层) $n | $n
$n 折射率精度 $n | $n $n 1x10-4 (对于Si基底上110nm的SiO2膜层) $n | $n
$n 光学结构 $n | $n $n PSCA $n | $n
$n 激光光束直径 $n | $n $n <1mm $n | $n
$n 入射角度 $n | $n $n 40°-90°可选,步进5° $n | $n
$n 样品方位调整 $n | $n $n 三维平移调节 $n 二维俯仰调节 $n 光学自准直系统对准 $n | $n
$n 样品台尺寸 $n | $n $n Φ170mm $n | $n
$n 单次测量时间 $n | $n $n 0.2s $n | $n
$n 推荐测量范围 $n | $n $n 0-6000nm $n | $n
$n 外形尺寸(长x宽x高) $n | $n $n 887 x 332 x 552mm (入射角为70º时) $n | $n
$n 仪器重量(净重) $n | $n $n 25Kg $n | $n
$n可选配件: