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高精度超小型接触式位置传感器CSMP105WA

产品信息
高精度超小型接触式位置传感器CSMP105WA采用无需放大器的[精密机械式],没有因外部环境或自发热而引起的温度漂移或迟滞,因此能连续检测微米级的位移,并能检测微小动作。实现了机械的小型化和低成本化,可根据被检测物体定制测头,因此摈弃了以往的”接近传感器”和”微型传感器”所需的卡爪或中间引动器。同时实现了机械的小型化和低成本化。
 高精度超小型接触式位置传感器CSMP105WA在水滴、冷却液、切屑飞溅的环境恶劣的汽车生产线上,作为可输出超高精度位置信号的传感器,由于采用无需放大器的[精密机械式],没有因外部环境或自发热而引起的温度漂移或迟滞,因此能连续检测微米级的位移,并能检测微小动作。防水构造采用特殊涂层橡胶,除了水,还可对应各种冷却液(尤其是碱性)。在切屑和切削油飞溅的机床内部的刀具原点定位用途中采用IP67的保护结构,适用于恶劣环境外径5mm×全长17mm,世界Z小的精密定位传感器。

用于半导体生产装置XY轴滑台的热位移补偿、脑神经外科手术显微镜的平衡定位等有限空间的内”精密定位”、”原点定位”。
采用(无需放大器)的”精密机械式”,无外部环境、自发热而导致的温度漂移,可稳定输出高精度的位置信号。

虽然是小型机械式,却具有300万次的机械和电气耐久性。
可直接嵌入半导体生产装置/汽车生产/模具/YL设备等有限的安装空间,实现机械的小型化。
超小型高精度接触式传感器[]
M5×17mm,
可实现机械的小型化

产品也有缺点:
  • 不能检测液体或柔软的工件等无法接触的物体。
  • 由于必须接触工件,所以生产周期可能会变长。
  • 由于接触工件进行检测,因此测量范围比非接触式短。
主要规格
接点构造 接点型
动作点的重复精度 ON⇄OFF均为0.005mm(仅CMS为0.003mm)
预行程 约0.3mm
迟滞 0(由于采用精密机械式,因此ON/OFF之间没有死区)
接点精度寿命 1000万次
接触力 1N(仅CSH为1.5N)
温度漂移 0(由于没有放大器,因此不没有因电子零件而引起的温度漂移)
使用温度范围 0℃~80℃(不得结冰) 
接点额定值 DC5V~DC24V 稳态电流10mA以下(冲击电流20mA以下)
应用范围
半导体的检测工作台的原点定位

以微米为单位补偿XY轴工作台的热移位

 
检测点胶机的喷嘴高度

以微米为单位补偿台式机器人的Z轴

 
防止重叠拾取2张薄钣金

仅用接触式位移传感器1/10的价格,即可检测2张0.5mm钣金的重叠拾取

 
确认制动蹄片的开闭

无迟滞,可稳定检测0.5mm以下的微小动作

 
脉冲马达的驱动器原点定位

在驱动部的原点定位时,发挥类似于伺服马达的性能

 
检测印刷机滚筒的偏离

以微米作为单位对CNYK制版的偏离进行修正


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