主动轴
X，Y，Z，θX，θY，θZ
X、Y向上的行程*
±17, ±16
毫米
Z向上的行程*
±6.5
θX、θY向上的行程*
±10, ±10
°
θZ向上的行程*
±21
促动器设计分辨率
5
纳米
X、Y向上的Z小位移
0.2
微米
典型值
Z向上的Z小位移
0.08
θX、θY向上的Z小位移
2.5
微弧度
θZ向上的Z小位移
X、Y向上的空回
Z向上的空回
0.06
θX、θY向上的空回
2
θZ向上的空回
4
X、Y向上的重复精度
±0.15
Z向上的重复精度
±0.06
θX、θY向上的重复精度
±2
θZ向上的重复精度
±3
X、Y和Z向上的速度
20 / 10
毫米/秒
θX、θY、θZ向上的速度
500 / 250
毫弧度/秒
Typ. X、Y和Z向上的典型速度
10 / 5
Typ. θX、θY、θZ向上的速度
240 / 120
X、Y向上的刚性
0.7
牛/微米
Z向上的刚性
8
负载能力（底板为水平方向）
千克
负载能力（底板为任意方向）
保持力（断电、底板为水平方向）
15
牛
保持力（断电、底板为任意方向）
电机类型
BLDC电机
工作温度范围
0 到 50
°C
材料
不锈钢，铝
质量
2.2
±5 %
电缆长度
0.5+3/3（空气）+2（真空）
米
±10 毫米
推荐控制器
C-887.5x
