供气（混气）系统 （质量流量计） 供气（混气）系统 （质量流量计）

品Pai

沈阳科晶

型号

供气（混气）系统 （质量流量计）

技术参数气路通道： 2 （可根据客户需求设计1-8通道）气路流量控制：采用浮子流量计：量 程（ml/min） ：6～60，10～100，16～160精 度（空气） ：1 ml/格（6～60 ml/min）2 ml/格（10～100，16～160 ml/min）工作压差范围 ：0.1～0.5 MPa 大 压 力 ：3 MPa接 口： Φ6,1/4”显 示： 刻度工作环境温度:5~45℃高纯气体不锈钢管：Φ6外X Φ4内压 力 真 空 表 ：－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格截 止 阀 ：Φ6主要特点1．本配比器适用于低压小流量,多种气体单一/混合连续供气系统。尤其是方便三种气体切换使用，而不会造成大气进入加热炉管。2．气体压力和流量数据在同一平面直观可读，外形美观、实用，操作简便。3．每一条气体管路均有一个高压截止阀，安全有保证。4．显示流量准确，可有效地控制气体消耗量。5．所有仪表及阀门的连接均采用活接头连接，便于维修拆卸。二．工作原理由气体钢瓶输入两种气体，形成A，B两种组份，经过减压阀减压，输出所需流量的气体，再通过调节每一组分的体积流量，输出预定比例关系的混合气体，达到加热炉所需求得气氛。三个连接头可连接二或三只气体钢瓶（只能同时启用二个钢瓶），如：H2/AR，H2/N2，O2/N2等。严禁氢气和氧气同时供气，保证安全。将配比器进口的三个连接头直接连接到15MPa的供气钢瓶上，其中之一是氢气专用连接头，选择连接好两种气体，按顺序开启供气钢瓶上阀门、配比器上对应高压截止阀及三只流量计旋钮，再旋转减压阀旋钮增大气体压力，调节两种气体流量，输出所需要的压力和流量。本供气（混气）系统可用于多种气体单一/混合连续供气系统，尤其方便多种气体的切换混合使用；气体压力和流量数据在同一平面直观可读，操作方便；每一条气体管路均有一个高压截止阀，安全可靠！本系 统广泛用于CVD供气系统，气体保护烧结，气体保护退火等。