技术参数气路通道：6（可根据客户需求设计1-8通道）气路流量控制器采用质量流量计控制：标准量程（N2） ：200，500 SCCM准 确 度 ：±1.5%线 性 ：±0.5～1.5%重 复 精 度 ：±0.2%响 应 时 间 ：气特性 1～4 See电特性 10 See工作压差范围 ：0.1～0.5 MPa 大 压 力 ：3 MPa接 口 ：Φ6,1/4”显 示 ：4位数字显示工作环境温度:5~45℃高纯气体不锈钢管：Φ6外X Φ4内压 力 真 空 表 ：－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格截 止 阀 ：Φ6主要特点1．本配比器适用于低压小流量,多种气体单一/混合连续供气系统。尤其是方便三种气体切换使用，而不会造成大气进入加热炉管。2．气体压力和流量数据在同一平面直观可读，外形美观、实用，操作简便。3．每一条气体管路均有一个高压截止阀，安全有保证。4．显示流量准确，可有效地控制气体消耗量。5．所有仪表及阀门的连接均采用活接头连接，便于维修拆卸。
