４轴方向微调精密平台——手动位移平台。
·由XY轴轴承钢制平台，Ｚ轴薄型轴承钢制平台与θ轴粗微调转动平台组成。
·各平台的详细参数，请参阅下表。 |
| 型号 | TSD-409C | TSD-409S | TSD-609C | TSD-609S | | 台面尺寸 | (mm) | ø40 | ø40 | ø60 | ø60 | | 行程 | | (mm) | XY轴 : ± 6.5
Z轴 : ± 3 | XY轴 : ± 6.5
Z轴 : ± 3 | XY轴 : ± 6.5
Z轴 : ± 5 | XY轴 : ± 6.5
Z轴 : ± 5 | | (° ) | 粗调 : 360
微调 : ± 5 | 粗调 : 360
微调 : ± 5 | 粗调 : 360
微调 : ± 5 | 粗调 : 360
微调 : ± 5 | | 主要材料 | 轴承钢, 黄铜 | 轴承钢, 黄铜 | 轴承钢, 黄铜 | 轴承钢, 黄铜 | | 表面处理 | 黑铬 | 黑铬 | 黑铬 | 黑铬 | | Z大承载能力 Fz′ | (N) | 49.0(5.0kgf) | 49.0(5.0kgf) | 68.6(7.0kgf) | 68.6(7.0kgf) | | Z大承载力矩 | Fx′ | (N-m) | 0.3 | 0.3 | 0.4 | 0.4 | | Fy′ | (N-m) | 0.3 | 0.3 | 0.4 | 0.4 | | 刚度 | Fx″ | (秒 / N-cm) | 4 | 4 | 2 | 2 | | Fy″ | (秒 / N-cm) | 4 | 4 | 2 | 2 | | 自重 | (kg) | 0.85 | 0.85 | 2.5 | 2.5 | | 详细 / CAD图形下载 |  | | | / |
| 型号 | TSD-809C | TSD-809S | TSD-1009C | TSD-1009S | | 台面尺寸 | (mm) | ø80 | ø80 | ø98 | ø98 | | 行程 | | (mm) | XY轴 : ± 12.5
Z轴 : ± 5 | XY轴 : ± 12.5
Z轴 : ± 5 | XY轴 : ± 12.5
Z轴 : ± 10 | XY轴 : ± 12.5
Z轴 : ± 10 | | (°) | 粗调 : 360
微调 : ± 5 | 粗调 : 360
微调 : ± 5 | 粗调 : 360
微调 : ± 5 | 粗调 : 360
微调 : ± 5 | | 主要材料 | 轴承钢, 黄铜, 铝合金 | 轴承钢, 黄铜, 铝合金 | 轴承钢, 黄铜, 铝合金 | 轴承钢, 黄铜, 铝合金 | | 表面处理 | 黑铬, 黑色氧化 | 黑铬, 黑色氧化 | 黑铬, 黑色氧化 | 黑铬, 黑色氧化 | | Z大承载能力 Fz′ | (N) | 58.8(6.0kgf) | 58.8(6.0kgf) | 68.6(7.0kgf) | 68.6(7.0kgf) | | Z大承载力矩 | Fx′ | (N-m) | 1 | 1 | 1 | 1 | | Fy′ | (N-m) | 1 | 1 | 1 | 1 | | 刚度 | Fx″ | (秒 / N-cm) | 1.51 | 1.51 | 1.27 | 1.27 | | Fy″ | (秒 / N-cm) | 1.51 | 1.51 | 1.27 | 1.27 | | 自重 | (kg) | 3.1 | 3.1 | 6.8 | 6.8 | | 详细 / CAD图形下载 | / | / | / | / | ※移动精度中的直线度是指全行程内的值，单位是毫米。
1N ≈ 0.102kgf |
| 型号 | XY轴 | Z轴 | θ轴 | | TSD-409C | TSD-402C | TSD-403 | KSP-406M | | TSD-409S | TSD-402S | TSD-403 | KSP-406M | | TSD-609C | TSD-602C | TSD-603 | KSP-606M | | TSD-609S | TSD-602S | TSD-603 | KSP-606M | | TSD-809C | TSD-802C | TSD-803 | KSPA-806M | | TSD-809S | TSD-802S | TSD-803 | KSPA-806M | | TSD-1009C | TSD-1002C | TSD-1003 | KSPA-986M | | TSD-1009S | TSD-1002S | TSD-1003 | KSPA-986M |
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