KOFLOC 5400系列质量流量计
- 型号：5400系列
- 产地：中国大陆
- 供应商：广州沃华仪器有限公司
- 供应商报价：电议
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产品库
型号5400系列质量流量控制器/计无焊接结构，金属密封，精确度≤ ±1%，响应≤±1/秒，基本的性能适用于半导体过程控制，而且价格合理。型号5410系列同样主体的设计价格也十分合理。
特点
通过安装一个温度流量传感器得到高精确的快速回应
通用的常闭型阀门
无焊接构造，金属密封确保低的泄露
由于膈膜角座阀较少了死区
间距，主体尺寸和连接的设计可以和生产商的控制器兼容
技术指标
| f.s.流量 （n2换算） | 10sccm-20slm |
| 阀门方式 | 常闭电磁隔膜阀 |
| 控制范围 | 2%-f.s. |
| 响应 | ±2% 在1秒以内 |
| qs option proviodes 1 sec.or less for 0- to 0-20%responses | |
| 精度 | ±1.0%f.s.以内 |
| 线性 | ±0.5%f.s.以内 |
| 再现性 | ±0.2%f.s.以内 |
| 耐压 | 980kpa |
| 操作差压 | f.s.≤5slm 49kpa-294kpa |
| 5＜f.s.≤20slm 147kpa-294kpa | |
| 泄漏范围 | 1×10-11pa·m3/s 以内 |
| 使用温度 | 0℃-50℃（精度保证：15-35℃） |
| 连接气体部分材料 | 外壳：sus316l |
| 隔膜：ni-co | |
| 阀座：ptfe | |
| 封条：ni，sus316l | |
| 接头 | 1/4vcr |
| 电力连接 | dusb 9-pin male connector per kfc standard |
| 输入流量信号 | 0-5vdc |
| 输出流量信号 | 0-5vdc |
| 需求电源供给 | 5400:＇+15vdc（±5%）100ma-15vdc（±5%）200ma |
| 5410:＇+15vdc（±5%）100ma-15vdc（±5%）100ma |
选型表
| 订购范例 | 5400 | 1/4vcr | n2 | 20slm | o | 5400-1/4vcr-n2-20slm-o |
| 型号 | 5400 |
| 5400：质量流量控制器 | |||
|
| 5410：质量流量计 | |||||
| 连接方式 |
| 1/4vcr |
| 标准：1/4vcr | ||
| 介质 |
| n2 |
| n2：以n2换算 | ||
| 流量 |
| 20slm |
| 10sccm-20slm（在n2的标准条件下） | ||
| 选项 |
| o | o:无选项 | |||
| 选项名称：qs:快开 | ||||||
| sl:慢开 | ||||||
| lp:低差压技术指标 | ||||||
