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KOFLOC 3100系列质量流量计

产品信息

 

型号3100系列质量流量计是一款以型号3200为基础,新推出的高精确性流量计。新颖的细长型流量控制器减少了压力的损失,保证了快速的响应性和稳定性。

 

特点

通过安装一个温度流量传感器得到高精确的快速回应。

通过cf转换功能能和多种气体兼容

测量一分钟流量可达1sccm满量程

 

技术指标

流量范围 n2换算

310010sccm-20slm310530sccm-100slm

响应

±2% 1秒以内

精度

3100:±1.0%f.s.以内;3105:±1.5%f.s.以内

线性

±0.5%f.s.以内

再现性

±0.2%f.s.以内

耐压

980kpa

操作差压

f.s.5slm 49kpa-294kpa

5f.s.20slm 147kpa-294kpa

泄漏范围

1×10-8pa·m3/s以内(he除外)

使用温度

0-50℃(精度保证:15-35℃)

连接气体部分材料

外壳:sus316lsus316ptfe

封条:viton(选项:氯丁橡胶)

接头

标准:1/4swl

选购项:1/8swl1/4vcerc1/4

电力连接

dusb 9-pin male connector per kfc standard

输出信号

0-5vdc

需求电源供给

+15vdc(±5%)100ma,-15vdc(±5%)200ma

 

选型表

订购范例

3100

1/4swl

n2

100sccm

o

3100-1/4swl-n2-100sccm-o

     

3100

 

3100:标准

 

3105:大容量

连接方式

 

1/4swl

 

标准:1/4swl;

 

可选:1/4vcr;1/8swl;rc1/4

介质

 

n2

 

n2:n2换算

流量

 

100sccm

 

10sccm-20slm

选项

 

o

o:无选项

选项名称:nr:氯丁二烯橡胶

         sr:1sccm,5sccm

 


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