LS-WPS100LS-WPS150SLS-W 紧凑型晶圆测试探针台
- 型号:LS-WPS100LS-WPS150SLS-W
- 产地:宝安区
- 供应商:莱森光学(深圳)有限公司
- 供应商报价:面议
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应用领域 | 化学品检测,石油/化工,地矿,能源,电子/电气/通讯/半导体 |
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紧凑型晶圆测试探针台
主要技术指标
型号 | LS-WPS100 | LS-WPS150S | LS-WPS150 | ||
外形 | 400mm长* 400mm宽* 550mm高 | 400mm长* 400mm宽* 550mm高 | 680mm长* 530mm宽* mm高 | ||
重量 | 约30公斤 | 约35公斤 | 约45公斤 | ||
电力需求 | 220VC, 50~60Hz | ||||
样品台 | 尺寸 | 4英寸,可360°旋转 | 6英寸,可360°旋转 | 6英寸,可360°旋转 | |
X-Y行程 | 4*4英寸 | 4*4英寸 | 6*6英寸 | ||
移动精度 | 10um | ||||
样品固定方式 | 真空吸附 | ||||
背电极测试功能 | 有,样品台电学独立悬空 | ||||
针座平台 | U型平台,Z多可放置6个小型针座 | U型平台,Z多可放置8个小型针座 | |||
光学特性 | 显微镜行程 | 可360度旋转,Z轴:50.8mm | |||
放大倍数 | 16~100X (200X可选) | ||||
CCD像素 | 50W(模拟)/200W(数字)/500W(数字) | ||||
点针规格 | X-Y-Z行程 | 12mm-12mm-12mm | |||
机械精度 | 10微米/2微米/0.7微米 | ||||
漏电精度 | 10pA/100fA(配置屏蔽箱时) | ||||
接口形式 | 香蕉头/鳄鱼夹/同轴/叁轴接口 | ||||
应用方向 | VCSEL芯片及LD/LED/PD测试,PCB/封装器件测试,射频测试等。 |