紧凑型晶圆测试探针台
- 产地：广东 深圳市
- 供应商：莱森光学（深圳）有限公司
- 供应商报价： 电议
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产品库
产品特性
1. 紧凑的结构
2. 轻巧的质量
3. 高等院校/研究所/工业用户实验室使用
4. 可用于6英寸以内样品测试
5. 精密丝杠传动结构，线性移动
6. 无回程差设计
7. 50微米以上电极/PAD测试
8. VCSEL/LD/LED/PD的光谱波长/光功率测试
9. VCSEL/LD/LED/PD-LIV特性测试
主要技术指标
| 型号 | LS-WPS100 | LS-WPS150S | LS-WPS150 | ||||||||||||
| 外形 | 400mm长* | 400mm宽* | 550mm高 | 400mm长* | 400mm宽* | 550mm高 | 680mm长* | 530mm宽* | mm高 | ||||||
| 重量 | 约30公斤 | 约35公斤 | 约45公斤 | ||||||||||||
| 电力需求 | 220VC, 50~60Hz | ||||||||||||||
| 样品台 | 尺寸 | 4英寸，可360°旋转 | 6英寸，可360°旋转 | 6英寸，可360°旋转 | |||||||||||
| X-Y行程 | 4*4英寸 | 4*4英寸 | 6*6英寸 | ||||||||||||
| 移动精度 | 10um | ||||||||||||||
| 样品固定方式 | 真空吸附 | ||||||||||||||
| 背电极测试功能 | 有，样品台电学独立悬空 | ||||||||||||||
| 针座平台 | U型平台，Z多可放置6个小型针座 | U型平台，Z多可放置8个小型针座 | |||||||||||||
| 光学特性 | 显微镜行程 | 可360度旋转，Z轴：50.8mm | |||||||||||||
| 放大倍数 | 16~100X （200X可选） | ||||||||||||||
| CCD像素 | 50W（模拟）/200W（数字）/500W（数字） | ||||||||||||||
| 点针规格 | X-Y-Z行程 | 12mm-12mm-12mm | |||||||||||||
| 机械精度 | 10微米/2微米/0.7微米 | ||||||||||||||
| 漏电精度 | 10pA/100fA（配置屏蔽箱时） | ||||||||||||||
| 接口形式 | 香蕉头/鳄鱼夹/同轴/叁轴接口 | ||||||||||||||
| 应用方向 | VCSEL芯片及LD/LED/PD测试，PCB/封装器件测试，射频测试等。 | ||||||||||||||
