Profilm3D 光学轮廓仪

Profilm3D光学轮廓仪

低成本 – 高精度

Profilm3D光学轮廓仪让3D光学轮廓测量的价格变得更加能够接受。Profilm3D使用垂直干涉扫描(WLI)与高精度的相位干涉(PSI)技术。以前所未有的价格实现次纳米级的表面形貌研究。

100mm自动XY样品台

您还在位每人都希望要的功能而支付额外的费用吗？我们现在每台Profilm3D都将100mm自动XY样品台，4孔物镜转台和手动调平装置作为标准配置。

超大的视场范围

Profilm3D仅用10倍物镜就提供了达到2mm的超大视场范围，同时其4倍光学变焦的功能缓解了不同应用时切换多个物镜的需求。这些都进一步降低了采购成本。

1 特征值

2 8 μm 台阶高度

3 精确度是指每天测量30次10um台阶高度标样的1次标准差，连续成功测量20天的平均值。环境温度稳定性小于 1°C。

稳定性是指连续成功测量10um台阶高度标样20天，取每天测量30次数值的平均值，计算2倍标准差。环境温度稳定性小于 1°C。

4 所有变焦缩放后的有效像素为648 x 484 (通过数位化的pixel binning实现)

5 分开销售

6 样品上投影的像素大小

7 样品表面粗糙时可测倾角将更大