AX10FC 差压式微小气体质量流量计

直接热式质量流量计 直接热式质量流量计控制器
AX10FC直接热式MFC/MFM采用热式测量原理，直接用两支快速反应的铠装传感器测量气体流量。由于没有层流元件，并采用哈氏合金传感器，V10FC可用于易结晶和腐蚀性的气体测量。对低压管道或者压力损失小的应用，AX10FC也同样适用。
   AX10FC直接热式MFC/MFM与其它差压原理的V10FC一样，具有三路流量/压力/温度显示和输出功能。
产品应用
产品主要用于真空,镀膜,石油化工,煤炭冶金,制气配气,环保及各种分析,科研院所实验设备。
产品特点
● 直接热式原理，无层流元件
● 无压损,抗结晶,抗腐蚀
● 适用于各种低压和高压管道
● 精确测量和控制气体的质量流量
● 预热时间短,零漂小，可靠性高
● 多种气体可选,也可自行输入
技术参数

技术指标	AX10FC-RC质量流量控制器	AX10FC-RM质量流量控制器
量程范围	小量程:5SCCM～10SLM 中量程:10SLM～30SLM 大量程:30SLM～2000SLM
控制范围	控制器20：1	流量计20：1
准 确 度	流量：±3%F.S 压力：0.5% F.S 温度：±1℃
线 性	±0.5%F.S
重复精度	±0.2%F.S
响应时间	100ms	10ms
数 字 量	RS232/485，MODBUS协议
模 拟 量	0～5V、4～20mA、1～5V
供电	12V/24V/±15V可选
工作温度	0～50℃
工作压力	工作压差：0.03～0.5MPa	工作压降：<0.01Mpa
Z大耐压	低压1MPa，中压3MPa，高压10MPa
电气连接	DB15孔
漏 率	1×10-9SccsHe
温度系数	±0.015%F.S/℃
底座材质	316L
密封材料	氟橡胶,氯丁橡胶，丁晴橡胶
接 头	VCR1/4;swagelokφ6