MT-30AM 模拟式 MT-30AM 模拟式系列气体质量流量计控制器

概要                                

MT-30AM系列采用温度变化对应于质量流量的原理，可以对不同的气体进行流量测量及控制。

可应用在5SCCM到30SLM的气体流量范围，并且不会受到温度及压力变化的影响。

特点                               

• 模拟式热质式流量计/流量控制器：

• 低单价,高性能,高精度
• 环境温度补正
• 可应用的流率范围广：
• 0～5，10，20，30，50，100，200，500SCCM
• 0～1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30SLM

• 高精度

±1%(≤15SLM)

±1.5%(＞15SLM.)

• 可选用MT系列控制模块，具有数位显示、电源供应、流量设定等功能
• 国际兼容

应用                               

• 工业设施的气体供应监测/控制。
• 气体分析设备。
• 固定气体流量控制。
• 气体混合或分离设备

标准                                气体质量流量用氮气(N2)标定。

标准状态规定为：

标准温度………………0℃（273.15K）

标准压强………………101325Pa

输入输出                           

输入设定电压…………0～+5.00V

输出电压检测…………0～+5.00V