MILA-5000Series RTP快速退火炉
- 型号:MILA-5000Series
- 供应商:凯戈纳斯仪器商贸(上海)有限公司
- 供应商报价:面议
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RTP快速退火炉特点:
l 快速加热及冷却能力;
l 可在任意气氛中使用;
l 实时观测试样;
l 精确的温度控制;
RTP快速退火炉技术参数
型号 | MILA-5000Series |
温度范围: | 室温~1200℃(Z高) |
Z大加热功率: | 50℃/s(50~1200℃)真空 45℃/s(50~1200℃)氮气氛围 |
温度均匀性: | ±2.0℃(ΔT=4℃)1200℃真空 ±4.5℃(ΔT=9℃)1200℃氮气氛围 |
加热气氛: | 大气、真空、惰性气氛环境下 |
试样尺寸: | MAX:50 square or φ 50 x T5 (mm) |
程序模组: | 温度VS时间设定、Step数256、Program数32(Z大); PID+Fuzzy控制、自动微调、USB通讯、自动/手动切换; |