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MILA-5000Series RTP快速退火炉

产品信息

RTP快速退火炉特点:

快速加热及冷却能力;

可在任意气氛中使用;

实时观测试样;

精确的温度控制;

RTP快速退火炉技术参数

型号

MILA-5000Series

温度范围:

室温~1200℃(Z高)

Z大加热功率:

50℃/s(50~1200℃)真空

45℃/s(50~1200℃)氮气氛围

温度均匀性:

±2.0℃(ΔT=4℃)1200℃真空

±4.5℃(ΔT=9℃)1200℃氮气氛围

加热气氛:

大气、真空、惰性气氛环境下

试样尺寸:

MAX:50 square or φ 50 x T5 (mm)

程序模组:

温度VS时间设定、Step数256、Program数32(Z大);

PID+Fuzzy控制、自动微调、USB通讯、自动/手动切换;

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