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CDG160D、CDG200D 英福康SKY电容膜片真空计INFICON CDG160D、CDG200...

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英福康SKY电容膜片真空计INFICON CDG160D、CDG200D

英福康SKY电容膜片真空计 INFICON SKY CDG160D 1 ... 1000 乇 / 毫巴

英福康SKY电容膜片真空计 INFICON SKY CDG200D 1 ... 1000 乇 / 毫巴

INFICON SKY CDG160D 和CDG200D 高温压力计是实现精确总压测量与控制的理想之选。CDG160D 和 CDG200D 真空计温度控制在 160 °C-200°C下温度控制的,具有的性能,适用于苛刻的半导体和等离子过程。在 1 托至 1000 托满刻度范围内均可使用,带有所有常用类型的法兰和现场总线接口,能够提供 0 至 10V、不受气体类型限制的线性压力信号。 INFICON 电容式压力计采用超纯氧化铝陶瓷隔膜,具有防腐蚀性。陶瓷传感器具有信号稳定性更佳、从大气恢复的速度更快、预热时间短和使用寿命长等诸多优势。INFICON CDG 品质,极具成本效益,适用于苛刻的半导体、等离子和真空应用。

英福康SKY电容膜片真空计INFICON CDG160D、CDG200D

益处:

  • 拥有成本更低,预热速度快 50%,节能,低功耗

  • 易于集成,各种满刻度、法兰和接口,标配两个设定点

  • 轻松一键调零或远程信号调零指令,可调零点偏移

  • 诊断端口用于快速维修和维护

  • 两年保修服务,加热概念和真空计保护延长了使用寿命

  • 的信号稳定性和可重复性,即使是***苛刻的等离子应用,都无需长期执行重新校准

  • 合规性与标准: CE、EN、UL、SEMI、RoHS

典型应用:

  • 用于刻蚀、CVD、PVD 和其他半导体制造过程

  • 化学和腐蚀性高温过程

  • 需要真空计保护的一般薄膜和真空过程

  • 采购资料:

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