主要特征: • 核心零部件全部原装进口• 三轴均采用高精密天然花岗岩• 三轴导轨均采用高精度自洁式空气轴承，运动更平稳，导轨永不受磨损 • 三轴均采用高精度进口光栅尺• X向采用精密60°三角梁技术，相比矩形梁，ZX更低，质量刚性比Z佳，运动更加可靠• Y 向采用整体燕尾式导轨，在降低机器重量的同时，有效消除了运动扭摆，保证了测量精度和稳定性• 业界标杆的专用PCDMIS BASIC（PREMIUM）手动测量软件，操作简单，运行可靠• 符合人机工程学的设计规格型号与技术指标: 机器型号FSD564FSD686FSD8106FSD8126行程(mm)X500600800800Y60080010001200Z400600600600测量空间(mm)Dx614714914914Dy1155135515551755Dz535735735735Dx1135135135135Dy1105105105105花岗岩平台螺纺尺寸(mm)M1172195270270M2327377427377Mx200125150150My150150150150外形尺寸(mm)L1155135515551755W940104012401240H2209260926092609承重(Kg)300300500500机器重量(Kg)725103012001400MPEe(μm)3.5+L/3003.5+L/3004.5+L/3005.0+L/300光栅尺分辨(μm)0.4空气流量120NL/min供气压力0.45MPa温度20±2℃湿度45%-75%
