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Tetra 30 Diener 等离子清洗机 表面精密清洗、表面活化、表面蚀刻、亲疏水涂...

产品信息

德国diener等离子表面处理设备特点:

1、等离子清洗机效果好,效率高,应用范围广

2、对清洗样品没有任何材质、外观尺寸等要求

3、等离子清洗过程中升温小,基本可达到常温处理

4、射频功率无极连续可调

5、高校的特质电极,是产生均匀等离子体的保证

6、特制电极和托盘结构,可充分利用真空腔体内部空间,使处理效率Z大化,同时也可得到全面有效的清洗

7、特有的过载、短路和过热保护电路,可保证射频电源的稳定和安全

8、设备整体模块化设计,安装与维护极为简单

 

Diener等离子清洗机 Tetra 30 参数配置:

 

主要技术参数:

  1. *便捷的PC触摸屏控制,操作系统为Windows CE5.0(ARM)
  2. *根据工艺要求不同,可设定功率、压强、气体流量与时间等参数       
  3. 双路工作气体,气体流量通过数字式流量计(MFC)控制
  4. *反应舱为不锈钢,宽305mm ×深625 mm×高300 mm 容积约为50L
  5. 高周波电流频率13.56MHz,功率0~300W
  6. 反射波自动调节,无须手工调节
  7. 电极材质为铝/不锈钢
  8. 运行模式为手动/自动
  9. *可存储多套工艺程序,图表实时显示工艺过程
  10. 真空泵的排气能力为16m3/Hour,配有强制进气阀
  11. *配有压力传感器,可根据工艺要求设定压力值
  12. 电源电压:400V /16A

配置清单:

 

 

数量

备注

主机Tetra

一台

Diener

真空泵

一台

德国原装进口

压力传感器

一个

 

强制进气阀

一个

 

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