Femto Diener 等离子清洗机 表面精密清洗、表面活化、蚀刻

德国diener等离子表面处理设备特点：

1、等离子清洗机效果好，效率高，应用范围广

2、对清洗样品没有任何材质、外观尺寸等要求

3、等离子清洗过程中升温小，基本可达到常温处理

4、射频功率无极连续可调

5、高校的特质电极，是产生均匀等离子体的保证

6、特制电极和托盘结构，可充分利用真空腔体内部空间，使处理效率Z大化，同时也可得到全面有效的清洗

7、特有的过载、短路和过热保护电路，可保证射频电源的稳定和安全

8、设备整体模块化设计，安装与维护极为简单

Diener等离子清洗机 Femto 参数配置：

主要技术参数：

1. 半自动控制
2. *根据工艺要求不同，可设定功率、压强、气体流量与时间等参数
3. 双路工作气体（O2）（N2），气体流量通过数字式流量计（MFC）控制
4. 反应舱为不锈钢，Ø100 mm*L278mm，容积约为2.2L
5. 高周波电流频率40MHz,功率0~100W
6. 电极材质为铝/不锈钢
7. 运行模式为手动
8. *可存储5套工艺程序，图表实时显示工艺过程
9. *可通过电脑控制
10. 真空泵的排气能力为1.6m3/Hour，配有强制进气阀
11. *配有压力传感器，可根据工艺要求设定压力值
12. 外尺寸：W310*D420*H330mm
13. 电源电压：单相AC230V 16A

配置清单：