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Zepto Diener 等离子清洗机 (表面精密清洗、表面活化)尔迪一级代理

产品信息

德国diener等离子表面处理设备特点:

1、等离子清洗机效果好,效率高,应用范围广

2、对清洗样品没有任何材质、外观尺寸等要求

3、等离子清洗过程中升温小,基本可达到常温处理

4、射频功率无极连续可调

5、高校的特质电极,是产生均匀等离子体的保证

6、特制电极和托盘结构,可充分利用真空腔体内部空间,使处理效率Z大化,同时也可得到全面有效的清洗

7、特有的过载、短路和过热保护电路,可保证射频电源的稳定和安全

8、设备整体模块化设计,安装与维护极为简单

 

Diener等离子清洗机 Zepto 参数配置:

 

主要技术参数:

  1. 手动控制
  2. *根据工艺要求不同,可设定功率、压强、气体流量与时间等参数
  3. 双路工作气体,浮球气体流量计
  4. 反应舱为高硼硅玻璃,Ø105 mm*L300mm,容积为2.6L
  5. 高周波电流频率13.56MHz,功率0~50W
  6. 电极材质为铝/不锈钢
  7. 运行模式为手动
  8. 真空泵的排气能力为1.6m3/Hour,配有强制进气阀
  9. 外尺寸:W425*D450*H185mm
  10. 电源电压:单相AC230V 16A

 

 

配置清单:

 

 

数量

备注

主机ZEPTO

一台

Diener

真空泵

一个

Pfeiffer

强制进气阀

一个

 

 

 

选配:

  1. 双路工作气体(MFC控制)(代替参数3
  2. 石英玻璃舱体(代替参数4)
  3. 真空泵,排量为3.0m3/h(代替参数11)

Pirani pressure sensor 皮拉尼传感器 

 

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