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专业销售 Talysurf CCI白光干涉表面轮廓仪

产品信息

品Pai: 英国泰勒霍普森 型号: Talysurf CCI
测量精度: 0.01 外形尺寸: 500*600(mm)
重量: 50(kg) 适用范围: 0-1
技术参数

(1) 类型: CCI 干涉(相干相关干涉)
(2) 分辨率: 0.1 A
(3) 测量点数: 1,048,576 ( 1024 x 1024 点阵 )
更详细参数和有关应用问题请垂询办事处产品负责人。

 

主要特点

•专利的相干相关算法
•0.01nm分辨率
•10-20秒测量时间
•RMS重复性:0.03A

仪器介绍

TalysurfCCI三维非接触形貌仪采用CCI(专利技术的相干相关算法)干涉原理,可高精度测量表面形貌、表面粗糙度及关键尺寸,并计算关键部位的面积和体积。主要应用于数据存储器件,半导体器件,光学加工以及MEMS/MOEMS技术以及材料分析领域。


 

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北京东方安诺生化科技有限公司
:   


: www.annovatech.com


 

 

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