Talysurf CCI白光干涉表面轮廓仪

品Pai：	英国泰勒霍普森	型号：	Talysurf CCI
测量精度：	0.01	外形尺寸：	500*600（mm）
重量：	50（kg）	适用范围：	0-1

技术参数(1) 类型： CCI 干涉（相干相关干涉）(2) 分辨率： 0.1 A(3) 测量点数： 1,048,576 ( 1024 x 1024 点阵 )更详细参数和有关应用问题请垂询办事处产品负责人。主要特点•的相干相关算法•0.01nm分辨率•10-20秒测量时间•RMS重复性：0.03A仪器介绍TalysurfCCI三维非接触形貌仪采用CCI（的相干相关算法）干涉原理，可高精度测量表面形貌、表面粗糙度及关键尺寸，并计算关键部位的面积和体积。主要应用于数据存储器件，半导体器件，光学加工以及MEMS/MOEMS技术以及材料分析领域。