Talysurf CCI白光干涉表面轮廓仪

主要特点 

•的相干相关算法 

•0.01nm分辨率 

•10-20秒测量时间 

•RMS重复性：0.03A      

Talysurf  CCI三维非接触形貌仪采用CCI（技术的相干相关算法）干涉原理，可高精度测量表面形貌、表面粗糙度及关键尺寸，并计算关键部位的面积和体积。主要应用于数据存储器件，半导体器件，光学加工以及MEMS/MOEMS技术以及材料分析领域。