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TP-TPY-2 自动椭圆偏振测厚仪/椭圆偏振测厚仪/测厚仪

产品信息



自动椭圆偏振测厚仪/椭圆偏振测厚仪/测厚仪 型号:TP-TPY-2


产品特点:

仪器采用消光法自动测量薄膜厚度和折射率,具有精度高、灵敏度高以及自动控制等特点。光源采用氦氖激光器,功率稳定波长精度高。

仪器采用USB接口与电脑连接,配套软件功能齐全,具有多样数据采集及处理方式,适用于不同用户的需要。

规格与主要技术指标:

测量范围:薄膜厚度范围1nm-4000nm 折射率范围:1-10

测量Z小示值:≤1nm 入射角:20°- 90°精度≤0.05°

度盘刻度:每格1度 允许样品尺寸:φ10-φ140mm,厚度≤16mm

偏振器步进角:0.014°/步 偏振器方位角范围:0°- 180°

测量膜厚和折射率重复性精度分别为:0.5nm和0.005

仪器测量精度:±0.5nm(薄膜厚度在10-100nm时)

光学ZX高度:80mm

成套性:主机、电控系统、USB接口、配套软件(需配计算机)

主机重量:26kg 外形尺寸:680*390*310mm

装箱单














序号



规格或型号


数量


备 注


1


自动椭圆偏振测厚仪主机


TP-TPY-2


1台



2


主机电控箱


TP-TPY-2


1台



3


Q9连接线



1根



4


数据连接线



1根



5


电源线



2根



6


15线连接电缆



1根



7


USB连接电缆



1根



8


二氧化硅膜样片



1张




软件安装盘


TP-TPY-2


1张



10


使用说明书


TP-TPY-2


1份



11


装箱单


TP-TPY-2


1份



12


产品合格证


TP-TPY-2


1份




网址: www.51658042.com




北京恒奥德仪器仪表有限公司


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: 凡经理

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