XH-AP150半自动探针台技术标准
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性能名称 | 技术指标 | |
可测片径 | 4″、5″、6″ | |
工作台 | Z大行程 | 180mm×260mm |
定位精度 | ≤±0.015mm | |
步进分辨率 | 0.001mm | |
承片台 | Z向行程 | 8mm |
Z向定位精度 | ≤±0.005mm | |
Z向分辨率 | 0.001mm | |
θ向调节范围 | ±10 º | |
θ向分辨率 | 0.001 º | |
观察装置 | 双目体视显微镜,放大倍数7.5X~45X | |
遮光罩装置(适合对光敏感器件的遮光测试) | (选配) | |
上、下圆片方式 | 手动方式 | |
外形尺寸(宽×深×高) | 750mm×700mm×1500mm |