概述
宇正YZ-2020天线耦合石英钟罩式微波等离子体化学气相沉积装置由合肥宇正等离子体技术有限公司研发生产。该装置早在2000年就通过省科技厅鉴定并在多所大学与科研院所等单位投入使用，效果良好。历经多年发展，该装置技术先进，性能稳定，使用方便可靠。
宇正YZ-2020天线耦合石英钟罩式微波等离子体化学气相沉积装置由微波系统、沉积室、气路系统、真空系统、循环水冷却系统和电子控制系统组成。装置的主要工作原理是由微波源产生频率为2450MHz的微波，沿波导管传输，从而激发和维持轴对称椭球状等离子体。该装置实现了微波与等离子体的轴对称耦合，增强了沉积腔ZX部位的电场强度，提高了微波功率的输入水平，改善反映沉积室对微波传输线的阻抗匹配，Z后在谐振腔的真空室部分（石英钟罩）内激励气体形成轴对称的等离子体球，等离子体球的直径大小取决于真空沉积室中的气体压力和微波功率。基片温度以微波等离子体的自加热方式达到。
技术指标与特性
1） 装置采用2XZ-4旋片式真空泵。配有热偶规真空计和压阻规真空计测量不同范围真空度。本底真空0.1pa。工作真空由高真空隔膜阀粗调和高真空微调阀细调手动控制并由相应的真空计测量显示。
2） 微波发生器由带有水冷磁控管的激励腔和微波源供电电源组成。微波频率2.45GHz。微波功率0－800W连续可调（Z大功率可达1200W）。带有微波输出功率显示（精确至1W）和反射指示。可长时间连续工作。
3） 微波系统配有环行器、带反射功率检测的水负载、三螺钉阻抗调配器、模式转换器、微波谐振腔。整个系统无微波泄露。
4） 两路气体输入，可用氮气、氧气、氢气、甲烷等常用气体。气体流量采用玻璃转子流量计（德国引进技术）显示和调节并由高真空微调阀手动控制。按用户要求亦可选用多路质量流量控制器和质量监控显示盒组成的自动控制气路系统，费用另计。
5） 沉积室由外径130mm的石英罩、石英均流罩和可手动升降的石英基片台（和石墨基片台）组成。采用反应气体均流措施，改善了沉积环境。在沉积金刚石膜时，工作气压3—13Kpa，基片以微波等离子体的自加热实现加温可达500—1100C。
6） 装置常规采用380V三相电源。按用户要求亦可采用220V单相电源。
7） 根据用户要求，装置可选配先进的自动控制与保护系统，当水、电或气出现故障时，装置会报警并自动关机，可实现长时间无人值守与稳定运行，特别适用于金刚石薄膜沉积。
