YZ-1020 宇正YZ-1020不锈钢腔体式多功能微波等离子体装置

概述
宇正YZ-1020不锈钢腔体式多功能微波等离子体装置由合肥宇正等离子体技术有限公司研发生产，技术先进，性能稳定。本装置等离子体产生效率高，样品处理均匀；样品装卸简捷，操作方便,维护简单。该装置用途广泛，具有聚合物材料表面刻蚀、清洗、改性、化学气相沉积、接枝聚合和引发接枝聚合反应等的能力，可广泛用于物理、化学、材料等领域。

宇正YZ-1020不锈钢腔体式多功能微波等离子体装置由微波系统、等离子体发生室、样品处理室、气路系统、真空系统和循环水冷却系统组成。装置的主要工作原理是由微波源产生频率为2450MHz的微波，沿波导管传输，Z后在谐振腔的真空室（等离子体反应室）内激励气体形成轴对称的等离子体球，等离子体球的直径大小取决于等离子体发生室中的气体压力和微波功率。样品温度以微波等离子体的自加热方式达到。

该装置的真空系统采用2XZ-2型旋片真空泵，极限真空6×10－2帕，抽速2升/秒，额定转速1400转/分，机械泵与真空室之间设置有电磁阀和高真空隔膜阀，旁路管道设置另一隔断阀（高真空微调阀），以便于真空系统运行安全及工作时反应气体压强的灵活控制。真空密封采用金属和橡胶密封，通常相对不动接口采用金属密封，相对可动接口采用橡胶密封。真空测量采用数字压阻式真空计，用来测量反应腔内的工作气压。

技术指标与特性
1） 等离子体发生室与样品处理室分开，均为不锈钢腔体。
2） 样品处理室ф262（内径）×165（高），左、右侧及前门上各有一个（共3个）ф50观察窗，样品装卸门146（宽）×68（高），内有ф120（直径）水平样品台，样品台面离样品处理室底面高度两级可调节27-57-87。                                                    
3） 等离子体发生室ф144（内径）×96（高）处于样品处理室之上。
4） 两路气体输入，在等离子体发生室顶部ZX输入工作气体，可用氮气、氧气、氦气等常用气体。                          
5） 微波发生器由带有水冷磁控管的激励腔和微波源供电电源组成。微波频率2.45GHz。微波功率0－1000W连续可调（Z大功率可达1200W）。带有微波输出功率显示（精确至1W）和反射指示。可长时间连续工作。
6） 装置常规采用380V三相电源。按用户要求亦可采用220V单相电源。                                         
7） 微波输出功率显示（精确至1W）和反射指示。
8） 自带冷却水循环系统形成冷却水. 制冷系统可保证冷却水温度在30度以下, 无水源要求.               
9） 真空度数字显示，精确至1Pa。                               
10） 气体流量在较大范围可调并显示（精确至0.01L/min）。      
11） 无电极放电，避免放电污染，能量转换效率高。