SMC真空房间无杆气缸，SMC无杆气缸低粉塵產生量 （每行程周期衹產生 0.1 粒大於 0.1μm 之粉塵）－ 低泄漏量 （少於 1.3 x 10-7 Pa•m3/sec）－ 正弦緩衝設計，減低衝擊－ 滑塊與缸體並無接觸，零摩擦力
