活动范围 ~300mm x 300mm 测量范围 100?~ 35?（Depends on Film Type） 光斑尺寸 40?/20?,4?（option） 测量速度 1~2 sec./site（fitting time） 应用领域 All Capability of ST2000 & More Precision Measurement Intended for Large Size Wafer Measurement 选择 Transmittance Module Reference Sample（K-MAC or KRISS or NIST） 接物镜旋转器 Quintuple Revolving Nosepiecs 焦点 Coaxial Coarse and Fine Focus Controls 附带照明 12v 100W Halogen Lamp
主要特点
尺寸 1100 x 1250 x 1550 mm 重量 400kg 类型 自动的 测量方法 无连接的 测量原理 反射计 特征
