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FEMTO Plasma WideFlux-B 等离子表面处理系统

产品信息
等离子类型:Line 500mm 
主要气体:氮气(N2) 
混合气体:N2+O2, N2+CDA, N2+Ar 
电 源:LF 30kHZ,6kW 
样品台:Y-Motion control 
操作界面:清晰触摸屏 
选配项:X-Z motion
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