Veritas-300+大型样品仓扫描电镜属于【EmCrafts】第二代钨丝枪扫描电镜系列。
Veritas-300+是全数字化控制，专业级电子显微成像分析仪器。
Veritas-300+采用大型立方体样品分析室（分析室可定制），全内置五轴优ZX自动样品台，为大块样品如零部件整体检测，为微纳米尺度操作工具之拓展分析提供多种可能。300+型扫描电镜，具有高低真空功能，BSE探测器低真空模式，非导电样品可直接成像。
硬件特征：
● 全数字专业级、拓展能力极强的大型样品仓扫描电镜
● 高分辨成像能力，满足微米亚微米尺度形貌及化学成分衬度快速表征；
● 五轴全自动优ZX样品台，原位观察，大批量分析测试，GX率；
● 低真空环境绝缘体可直接观察
● 一体化设计，可随时移动。
大型样品仓
【安装示意】
主要指标：
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型号 |
Veritas-300plus 大型样品仓扫描电子显微镜 |
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样品台 |
五轴优ZX，全自动台 |
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电子枪 |
预对中钨灯丝 三极自动偏压 |
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加速电压 |
200V-30KV （发射电流190μA @ 30KV/电子枪功率：5.7W) |
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探测器 |
ET-SED 半导体固体BSED |
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物镜光阑 |
四位孔径可变光阑，20μm、20μm、50μm、100μm |
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分辨率 |
4nm @30KV (Se Image) 5nm @30KV (Bse Image) |
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放大倍数 |
10-300,000 X |
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样品室 |
230(W)x210(D)x260(H)mm, Se、Bse、EDS、WDS、EBSD、CL等探测器接口 |
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样品尺寸 |
Φ210mm X 65mm |
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工作距离 |
0-65mm |
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扫描光栅运动 |
电位移 ±50μm， 电旋转 0-360° |
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扫描模式 |
聚焦模式：320X240 像素 ，尺寸可变 TV模式：800x 600像素 慢扫描模式，用于TV及聚焦模式 照相模式：800X600、960X720、1024x768、1600x1200、3200x2400像素 |
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高级扫描模式 |
动态聚焦，点扫描、线扫描,倾斜补偿 |
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图像格式 |
JPG、TIFF、bmp、PNG |
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真空模式 |
- 高真空优于9x10-3Pa
- 低真空10-230Pa
- 高低真空一键切换 |
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真空系统 |
全自动真空系统，真空高压连锁安全保护（高真空时间小于5分钟） -涡轮分子泵
-旋片式机械真空泵
-真空逻辑阀：电动闸板阀、电磁阀等
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自动功能 |
亮度/对比度, 聚焦, 象散、电子枪对中、偏压、饱和，物镜光阑摇摆对中 |
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软件系统 |
基于Win8，Virtuoso1.1专用控制软件. 内嵌长度角度面积测量、图像编辑处理工具。鼠标键盘操作. |
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主机尺寸/重量 |
800(W）x825（D）x 1500（H）mm /200kg |
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电源 |
单相交流 220V 、50Hz、1KW |
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耗材附件 |
预对中灯丝，样品托，碳导电胶带，导电银胶，专用工具 |
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可选配置 |
四象限BSED | 样品室摄像机 | 升级LaB6/CeB6阴极 | 3D成像软件 | 拉曼谱仪 | EDS能谱仪 | WDS波谱仪 | EBSD 电子背散射衍射 | CL 阴极荧光 |电子束曝光装置 |
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