产品信息
尼康CNC影响测量系统
NEXIV VMZ-R
VMZ-R 3020
应用领域:各种类型产品(如机械、电气、电子、汽车和YL设备等产品)的小型零部件
Type1~3 : 连接器、半导体封装、小型PCB、小型冲压钣金件、引线框架
Type4/TZ : 高密度PCB、引线框架、半导体封装、MEMS、探针卡等
TypeA : 塑料模制件、钣金件、橡胶零件、机械零件、植入件、手表零部件等
类型1、2和3-标准倍率变焦头
Type10.5X~7.5X Type21X~15X Type32X~30
类型1、2和3使用尼康15X变焦光学系统,具有长工作距离,宽视场(FOV)以及主达0.35的数值孔径。所有标准变焦头都配备LED落射、透射和内部/外部环形照明器,提供顶部照明光、底部照明光以及具有三种不同斜角照明光,确保清晰呈现模糊的边缘。
类型4和TZ-高倍率变焦头
Type4 4X~60 TypeTZ1X~X7.5/16X~120
类型4和TZ使用尼康15X和120变焦光学系统,具有更高的倍率精度和更高的数值孔么(0.46)。类型4配有LED落射、透射和环形照明器,提供顶部照明光、底部照明光和50度斜角照明光。TZ配有适用于主物镜镜头(16~120)的落射、透射和暗场照明器,以及适用于辅助物镜镜头(1~7.5X)的LED落射和暗场照明器。
类型A-宽视场变焦头
TypeA0.35X~3.5X
类型使用尼康10变焦光学系统,具有低部率精度范围内宽的视场,长的工作距离和Z高的数值孔么(0.11),而且它配备了LED落射、透射和环形照明器,提供顶部和斜角照明光。
8段LED内外环形照明器
Type1~3
类型1、2和3配有8段LED内外环形照明器,能够提供照明条件,清晰呈现模糊的边缘。您可以从8个照明器段的任意方向选反37度、55度、和75度这三个斜角之一,还可以组合使用任意照明器段以及使用任意光强度。
改善不确定度
尼康全新线性编码器ModuRay配有非接触式读取头,有助于提高确定度。
规格
型号VMZ-R3020
XYZ行程300200200
Z小读取单位0.1微米
被测物Z大重量20kg
测量精度 EUX、MPE EUY、MPE1.2+4L/1000um
EUXY、MPE2+4L/1000um
Z轴测量精度(激光自动对焦) 1.2+5L/1000um
摄像头 黑白1/3英寸CCD、彩色1/3英寸CCD(选购件)※
※彩色摄头选购件只能与类型1、2和A配合使用。
物镜镜头的工作距离
类型1、2和3 37度斜角时为50mm、55度斜角时为36mm、78度斜角时为10mm
类型4 30mm
类型TZ 使用主物镜镜头时为11mm,使用左侧物镜镜头时为32mm
类型A 未使用激光AF时为73.5mm,使用激光AF时为63mm
倍率和视场
类型1 0.5~7.5X /9.33X7~0.622X0.467mm
类型2 1~15X /4.67X3.5~0.311X0.233mm
类型3 2~30 /2.33X1.75~0.155X0.117mm
类型4 4~60 /1.165X0.875~0.07~0.068
类型TZ 1~120 /4.67X3.5~0.039X0.029mm
类型A 0.35~3.5X /13.3X10~1.33X1mm
自动对焦 类型1、2、3、4和TZ配备TTL激光AF和图像AF
类型A标配图像AF,激光AF作为选购提供
照明器
类型1、2和3 LED落射和透射照明器,8段LED内外环型照明器(内部环形照明器呈37度斜角,外部环形照明器呈55度和78度斜角)
类型A LED落射和透射照明器,呈18度斜角的8段LED环形照明器
电源 AC 100-240V±10% 50或60HZ
使用电流 -2.
主机尺寸和工作台 7007301795mm/约245kg
控制器尺寸 190450440mm /约15KG
占地(含工作台上的PC) 21001100mm
VMZ-R 4540
应用领域:适用于中等尺寸零部件和对载物台上的多个工件执行序列测量
Type1~3 : 中型尺寸PCB、冲压钣金件等
Type4/TZ : 300mm晶圆、300mm探针卡等
TypeA : 中型尺寸机械零件、塑料模制件等
类型1、2和3-标准倍率变焦头
Type10.5X~7.5X Type21X~15X Type32X~30
类型1、2和3使用尼康15X变焦光学系统,具有长工作距离,宽视场(FOV)以及主达0.35的数值孔径。所有标准变焦头都配备LED落射、透射和内部/外部环形照明器,提供顶部照明光、底部照明光以及具有三种不同斜角照明光,确保清晰呈现模糊的边缘。
类型4和TZ-高倍率变焦头
Type4 4X~60 TypeTZ1X~X7.5/16X~120
类型4和TZ使用尼康15X和120变焦光学系统,具有更高的倍率精度和更高的数值孔么(0.46)。类型4配有LED落射、透射和环形照明器,提供顶部照明光、底部照明光和50度斜角照明光。TZ配有适用于主物镜镜头(16~120)的落射、透射和暗场照明器,以及适用于辅助物镜镜头(1~7.5X)的LED落射和暗场照明器。
类型A-宽视场变焦头
TypeA0.35X~3.5X
类型使用尼康10变焦光学系统,具有低部率精度范围内宽的视场,长的工作距离和Z高的数值孔么(0.11),而且它配备了LED落射、透射和环形照明器,提供顶部和斜角照明光。
8段LED内外环形照明器
Type1~3
类型1、2和3配有8段LED内外环形照明器,能够提供照明条件,清晰呈现模糊的边缘。您可以从8个照明器段的任意方向选反37度、55度、和75度这三个斜角之一,还可以组合使用任意照明器段以及使用任意光强度。
改善不确定度
尼康全新线性编码器ModuRay配有非接触式读取头,有助于提高确定度。
规格
型号VMZ-R4540
XYZ行程450400200
Z小读取单位0.1微米
被测物Z大重量40kg
测量精度 EUX、MPE EUY、MPE1.2+4L/1000um
EUXY、MPE2+4L/1000um
Z轴测量精度(激光自动对焦) 1.2+5L/1000um
摄像头 黑白1/3英寸CCD、彩色1/3英寸CCD(选购件)※
※彩色摄头选购件只能与类型1、2和A配合使用。
物镜镜头的工作距离
类型1、2和3 37度斜角时为50mm、55度斜角时为36mm、78度斜角时为10mm
类型4 30mm
类型TZ 使用主物镜镜头时为11mm,使用左侧物镜镜头时为32mm
类型A 未使用激光AF时为73.5mm,使用激光AF时为63mm
倍率和视场
类型1 0.5~7.5X /9.33X7~0.622X0.467mm
类型2 1~15X /4.67X3.5~0.311X0.233mm
类型3 2~30 /2.33X1.75~0.155X0.117mm
类型4 4~60 /1.165X0.875~0.07~0.068
类型TZ 1~120 /4.67X3.5~0.039X0.029mm
类型A 0.35~3.5X /13.3X10~1.33X1mm
自动对焦 类型1、2、3、4和TZ配备TTL激光AF和图像AF
类型A标配图像AF,激光AF作为选购提供
照明器
类型1、2和3 LED落射和透射照明器,8段LED内外环型照明器(内部环形照明器呈37度斜角,外部环形照明器呈55度和78度斜角)
类型A LED落射和透射照明器,呈18度斜角的8段LED环形照明器
电源 AC 100-240V±10% 50或60HZ
使用电流 -2.
主机尺寸和工作台 100013401820mm/约500kg
控制器尺寸 190450440mm /约15KG
占地(含工作台上的PC) 23001700mm
VMZ-R 6555
应用领域:
适用大型零部件和对载物台上的多个工件进行“逐步和重复”测量
Type1~3 : 大型PCB、大型塑料模制品等
Type4/TZ : 高密度大型PCB等
TypeA : 大型冲压钣金件、大型塑料模制件等
类型1、2和3-标准倍率变焦头
Type10.5X~7.5X Type21X~15X Type32X~30
类型1、2和3使用尼康15X变焦光学系统,具有长工作距离,宽视场(FOV)以及主达0.35的数值孔径。所有标准变焦头都配备LED落射、透射和内部/外部环形照明器,提供顶部照明光、底部照明光以及具有三种不同斜角照明光,确保清晰呈现模糊的边缘。
类型4和TZ-高倍率变焦头
Type4 4X~60 TypeTZ1X~X7.5/16X~120
类型4和TZ使用尼康15X和120变焦光学系统,具有更高的倍率精度和更高的数值孔么(0.46)。类型4配有LED落射、透射和环形照明器,提供顶部照明光、底部照明光和50度斜角照明光。TZ配有适用于主物镜镜头(16~120)的落射、透射和暗场照明器,以及适用于辅助物镜镜头(1~7.5X)的LED落射和暗场照明器。
类型A-宽视场变焦头
TypeA0.35X~3.5X
类型使用尼康10变焦光学系统,具有低部率精度范围内宽的视场,长的工作距离和Z高的数值孔么(0.11),而且它配备了LED落射、透射和环形照明器,提供顶部和斜角照明光。
8段LED内外环形照明器
Type1~3
类型1、2和3配有8段LED内外环形照明器,能够提供照明条件,清晰呈现模糊的边缘。您可以从8个照明器段的任意方向选反37度、55度、和75度这三个斜角之一,还可以组合使用任意照明器段以及使用任意光强度。
改善不确定度
尼康全新线性编码器ModuRay配有非接触式读取头,有助于提高确定度。
规格
型号VMZ-R6555
XYZ行程650550200
Z小读取单位0.1微米
被测物Z大重量50kg
测量精度 EUX、MPE EUY、MPE1.2+4L/1000um
EUXY、MPE2+4L/1000um
Z轴测量精度(激光自动对焦) 1.2+5L/1000um
摄像头 黑白1/3英寸CCD、彩色1/3英寸CCD(选购件)※
※彩色摄头选购件只能与类型1、2和A配合使用。
物镜镜头的工作距离
类型1、2和3 37度斜角时为50mm、55度斜角时为36mm、78度斜角时为10mm
类型4 30mm
类型TZ 使用主物镜镜头时为11mm,使用左侧物镜镜头时为32mm
类型A 未使用激光AF时为73.5mm,使用激光AF时为63mm
倍率和视场
类型1 0.5~7.5X /9.33X7~0.622X0.467mm
类型2 1~15X /4.67X3.5~0.311X0.233mm
类型3 2~30 /2.33X1.75~0.155X0.117mm
类型4 4~60 /1.165X0.875~0.07~0.068
类型TZ 1~120 /4.67X3.5~0.039X0.029mm
类型A 0.35~3.5X /13.3X10~1.33X1mm
自动对焦 类型1、2、3、4和TZ配备TTL激光AF和图像AF
类型A标配图像AF,激光AF作为选购提供
照明器
类型1、2和3 LED落射和透射照明器,8段LED内外环型照明器(内部环形照明器呈37度斜角,外部环形照明器呈55度和78度斜角)
类型A LED落射和透射照明器,呈18度斜角的8段LED环形照明器
电源 AC 100-240V±10% 50或60HZ
使用电流 -2.
主机尺寸和工作台 120016401820mm/约665kg
控制器尺寸 190450440mm /约15KG
占地(含工作台上的PC) 24002000mm