小型高真空二合一镀膜仪
- 产地：郑州市
- 供应商：郑州成越科学仪器有限公司
- 供应商报价：面议
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详情介绍：
等离子溅射和蒸发二合一镀膜仪配备了直流溅射靶和热蒸发组件，不但可以用于等离子溅射方式镀金属膜，也可以用蒸发的方式得到碳或者其他金属单质的薄膜。为了提高镀膜质量，本台二合一镀膜仪采用的不锈钢真空腔体配合精密分子泵的高真空设计，较高的真空度能够有效的提升镀膜纯净度和均匀度，有利于得到更好的实验效果。样品台有旋转和加热功能，能够提高薄膜的附着力和成膜的均匀度。本仪器体积小，节省空间，能够置于试验台上使用，非常适合各大高校及研究机构选用。
小型高真空二合一镀膜仪适用范围：
扫描电镜样品表面喷金、蒸金喷碳等操作，以及非导体材料试验电极的制作等。
小型高真空二合一镀膜仪技术参数：
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样品台 | 尺寸 | φ138mm | 控温精度 | ±1℃ |
加热温度 | *高500℃ | 转速 | 1-20rpm可调 | |
直流溅射头 | 数量 | 2”×1 |
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蒸发系统 | 蒸发源 | 钨丝篮 | *高温度 | 1700℃ |
热电偶 | S型热电偶 |
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真空腔体 | 腔体尺寸 | φ170mm×200mm | 观察窗口 | 石英观察窗 φ70 |
腔体材料 | 不锈钢 | 开启方式 | 上开启式 | |
真空系统 | 产品型号 | CY-GZK103-A | 抽气接口 | KF40 |
分子泵 | CY-600 | 排气接口 | KF16 | |
前极泵 | 旋片泵 | 真空测量 | 复合真空计 | |
极限真空 | 1.0E-5Pa | |||
抽气速率 | 分子泵：600L/S 旋片泵：1.1L/S 综合抽气性能：20分钟真空度可达： 1.0E-3Pa | |||
溅射电源配置 | 数量 | 直流电源×1 | Max 输出功率 | 150w |
其他 | 供电电压 | AC220V,50Hz | 整机尺寸 | 600mm×300mm×470mm |
整机功率 | 1.5kw | 整机重量 | 40kg | |
