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小型高真空热蒸发镀膜仪

产品信息

简单介绍:

本仪器是一款高真空紧凑型热蒸发镀膜仪,蒸发温度从200℃到1700℃,采用钨丝篮作为蒸发源,蒸发源外套高纯氧化铝坩埚。

详情介绍:

本仪器是一款高真空紧凑型热蒸发镀膜仪,蒸发温度从200℃到1700℃,采用钨丝篮作为蒸发源,蒸发源外套高纯氧化铝坩埚。上盖装有可旋转的样品台,能够有效提高成膜的均匀度。仪器拥有高精度的温度控制系统,采用循环加热方式,能够稳定蒸发金属及有机物。采用不锈钢高真空腔体设计,配高精度分子泵,能够达到高真空要求,较高的真空度能够有效提升蒸发镀膜的效率及质量。

小型高真空热蒸发镀膜仪用途:

本仪器适用于蒸发涂覆大多数金属和某些有机材料薄膜。

小型高真空热蒸发镀膜仪技术参数:

 

 

样品台

尺寸

φ65mm

至蒸发源间距

60mm~100mm可调

转速

1-20rpm可调

 

 

蒸发系统

蒸发源

钨丝篮

*高温度

1700

热电偶

S型热电偶

 

 

真空腔体

腔体尺寸

φ170mm× 200mm

观察窗口

石英观察窗 φ70

腔体材料

不锈钢

开启方式

上开启式

真空系统

产品型号

CY-GZK103-A

抽气接口

KF40

分子泵

CY-600

排气接口

KF16

前极泵

旋片泵

真空测量

复合真空计

极限真空

1.0E-5Pa

抽气速率

分子泵:600L/S  旋片泵:1.1L/S  综合抽气性能:20分钟真空度可达: 1.0E-3Pa

 

其他

供电电压

AC220V,50Hz

整机尺寸

600mm× 300mm× 470mm

整机功率

1.5kw

整机重量

40kg

 

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