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FT110镀层测厚仪

产品信息

  日本日立FT110XRF萤光镀层厚度测量仪通过自动定位功能,仅需把样品放置到样品台上,就可在数秒内对样品进行自动对焦。由此,无需进行以往的手动逐次对焦的操作,大大提高了样品测量的操作性。

 近年来,随着检测零件的微小化,对微区的高精度测量的需求日益增多。FT-110实现微区下的高灵敏度,即使在微小准直器(0.1、0.2mm)下,也能够大幅度提高膜厚测量的精度。

 同时,FT-110还配备有新开发的薄膜FP法软件,即使没有厚度标准物质也可进行多达5层10元素的多镀层和合金膜的测量,可对应更广泛的应用需求。
   可从ZD250×200mm的样品整体图像指定测量位置,另有机仓开放式机种,可对600×600mm的大型印刷线路板进行测量日本日立FT110XRF萤光镀层厚度测量仪

 低价位也是FT-110的特点,与以往机型相比,既提高了功能性又降低20%以上的价格。

    膜厚仪作为可靠的品管工具,可针对半导体材料、电子元器件、汽车部件等的电镀、蒸镀等的金属薄膜和组成进行测量管理,可保证产品的功能及质量,降低成本。

特点:

·即放即测:无需人工对焦造成误差,测量结果更可靠;

·测试速度快:3秒自动对焦,10秒钟完成50nm级极薄镀层的测量;

·无标样测量:与以往的技术相比,薄膜FP软件得到进一步扩充,即使没有标准品也能精确测量;

·多镀层测量:最多能够进行5层的多镀层样品测量;

·广域图像观察:能将样品图像放大5到7倍,并对测量部位精确定位;

·低成本:较以往机型价格降低了20%。

 

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