SQM-160 薄膜沉积监控器

SQM-160 薄膜沉积监控器 使用成熟的 INFICON 石英晶体传感器技术在薄膜沉积过程中测量速率和厚度。两个传感器输入为标准输入，另外四个传感器输入为可选输入。两个记录器输出提供模拟速度和厚度信号。SQM-160 薄膜沉积监控器传感器输入可分配给不同的材料，在大型系统中平均分配以实现精确的沉积控制，或者配置为双传感器。速率采样模式可在高速率过程中屏蔽传感器，从而延长传感器的使用寿命。速率显示为 0.1Å/s 或 0.01Å/s，用户可自行选择。此外，还可以选择频率或质量显示。凭借四个继电器输入，SQM-160 可控制来源或传感器屏蔽、信号时间和厚度设定点以及信号晶体失效。数字输入允许外部信号启动/停止和归零读数。

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瑞士Inficon （英福康）膜厚控制仪及探头、石英晶振片、真空计、检漏仪、残余气体分析仪、真空阀门、真空连接件。
美国Agilent（安捷伦，原瓦里安）涡旋式干泵、分子泵、氦质谱检漏仪。
英国Edwards （爱德华）旋片泵、涡旋干式泵、分子泵、真空规管。
瑞士VAT插板阀、闸阀、蝶阀、角阀等全系列真空阀门。   
日本Hitachi Metals(原Aera）质量流量控制器。

美国MKS质量流量控制器。
美国SRS 四级质谱残余气体分析仪。

美国Keyhigh 陶瓷压电阀。

韩国ONE C TECH低温冷肼、压缩机和冷媒销售

美国Angstromsciences磁控溅射阴极、靶材、反应气体控制器。