XY轴 PK2L70-080U 高精度二维中空式压电扫描台厂家供应

产品型号

PK2L135-005U

PK2L135-005U-S

公差

运动自由度

X、Y

X、Y

-

传感器类型

-

Strain Gage

-

标称行程范围（@0~+120V）

5 μm/轴

5 μm/轴

±20%

行程范围（@-20~+150V）

8 μm/轴

8 μm/轴

±20%

分辨率

0.2 nm

0.5 nm

typ.

重复定位精度

-

0.05% F.S.

typ.

线性度

-

0.1% F.S.

typ.

承载能力

30 N

30 N

Max.

刚度

0.5 N/μm

0.5 N/μm

±20%

谐振频率

0g

（X）330 Hz、（Y）330 Hz

（X）330 Hz、（Y）330 Hz

±20%

静电容量

0.6 μF/轴

0.6 μF/轴

±20%

工作温度范围

-10~+70 ℃

-10~+70 ℃

-

驱动电压范围（推荐）¹

0~+120 V

0~+120 V

typ.

线缆长度

1.5 m/轴

1.5 m/轴

±10mm

外形尺寸(LxH)

138×138×17 mm

138×138×17 mm

-

重量

500 g

500 g

±5%

本体材质²

铝（B）

铝（B）

-