WBMW-QXCJ4 任氏巨源微波化学气相沉积炉
- 型号:WBMW-QXCJ4
- 产地:河北 唐山市
- 供应商:唐山任氏巨源微波仪器有限公司
- 供应商报价: 电议
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任氏巨源微波化学气相沉积炉应用:可制备石墨烯、光电功能材料、碳纤维、SiC、TiC、膜材料,气相参与反应的材料合成等。
任氏巨源微波化学气相沉积炉组成:石英质、高温合金管质及刚玉质管式炉,质量流量控制器和抽真空机械泵、扩散泵和分子泵。
任氏巨源微波化学气相沉积炉特点:
1. 才用纯微波加热或混合加热方式,可加热包括金属在内的任何材料,
2. 升温速率快,智能控温,可分段设置,控温精度高,热惯性小。此管式炉可同时加热多个温区,且加热区长度可调。
3. 可通各种气氛,抽真空有机械泵、扩撒泵和分子泵,可达10-3Pa真空状态。
4、炉体采用不锈钢密封法兰(铰链结构),耐高温、耐腐蚀;
5、保护管采用耐高温合金管 ,气管采用卡套或VCR接口,安装方便;
6、炉体配有自动冷却风扇,降低温度;
7、控温PLC系统,可分段控制,控温精度±1℃,控温精度高;
8、真空系统:机械泵 扩散泵和分子泵,真空密度计
9、可通过电脑全程监控和调试;
任氏巨源微波化学气相沉积炉参数:
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| 2.45GHZ±50MHz | ||||||
| 纯微波加热、传统电加热、混合加热 | ||||||
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| 4KW(功率可调) | |||||
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| ±1℃/±2℃ | ||||||
| 石英管 | 高温合金管 | 刚玉管 | ||||
| 1200℃ | 1200℃ | 1600℃ | ||||
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| 标配恒温区长度10mm,恒温去长度10mm~1000mm以上可选 | ||||||
| 可多温区同时加热 | ||||||
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| 2路或3路 | ||||||
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| 采用 快速连接波纹管、高真空手动挡板阀及数显真空测量仪(列子) | ||||||
| 高真空 | ||||||
| 标准大气压~10-3Pa | ||||||
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