产品库

WBMW-QXCJ4 任氏巨源微波化学气相沉积炉

产品信息


任氏巨源微波化学气相沉积炉应用:可制备石墨烯、光电功能材料、碳纤维、SiC、TiC、膜材料,气相参与反应的材料合成等。



任氏巨源微波化学气相沉积炉组成:石英质、高温合金管质及刚玉质管式炉,质量流量控制器和抽真空机械泵、扩散泵和分子泵。



任氏巨源微波化学气相沉积炉特点:



1. 才用纯微波加热或混合加热方式,可加热包括金属在内的任何材料,



2. 升温速率快,智能控温,可分段设置,控温精度高,热惯性小。此管式炉可同时加热多个温区,且加热区长度可调。



3. 可通各种气氛,抽真空有机械泵、扩撒泵和分子泵,可达10-3Pa真空状态。



4、炉体采用不锈钢密封法兰(铰链结构),耐高温、耐腐蚀;



5、保护管采用耐高温合金管 ,气管采用卡套或VCR接口,安装方便;



6、炉体配有自动冷却风扇,降低温度;



7、控温PLC系统,可分段控制,控温精度±1℃,控温精度高;



8、真空系统:机械泵 扩散泵和分子泵,真空密度计



9、可通过电脑全程监控和调试;



 



任氏巨源微波化学气相沉积炉参数:




型号/model



 



 



可加热材料



非易燃易爆的任何材料,包括:金属、陶瓷、有机材料、矿物、溶液等



微波频率


2.45GHZ±50MHz



加热方式


纯微波加热、传统电加热、混合加热



Z大功率



2KW(功率可调)


4KW(功率可调)



温度测试元件



微波场专用传感器



控温精度


±1℃/±2℃



加热管材质


石英管


高温合金管


刚玉管



加热温度


1200℃


1200℃


1600℃



管径


 


 


 



加热速度(Z高)


 


 


 



恒温区长度


标配恒温区长度10mm,恒温去长度10mm~1000mm以上可选



温区


可多温区同时加热



气路法兰



不锈钢法兰



质量流量控制



美国Alicat质量流量&控制器、七星华创质量流量&控制器



气柜、气路及各类阀门,可配套计算机自动控制系统及软件



气路数量


2路或3路



流量范围


 



精度


 



响应时间


 



工作压力


 



系统连接方式


采用 快速连接波纹管、高真空手动挡板阀及数显真空测量仪(列子)



规格


高真空



系统真空范围


标准大气压~10-3Pa



真空泵



简单机械泵抽真空和不锈钢法兰



10-1Pa真空用机械泵及真空计



10-2Pa真空用机械泵、扩散泵及真空计



10-3Pa真空用机械泵、分子泵及真空计



炉腔尺寸



 



加热腔(标配)



0.5-3L 2个



加热腔大小



0.94L,2.12L,3.8L



升温速率(标配)



 



外型尺寸



150cm´75cm´16cm(长×宽×高)



重量



 



微波泄漏



 



提供相关配件



 



保质期



整机免费保修1年



质量认证






信息声明:本产品供应信息由仪器网为您整合,供应商为(唐山任氏巨源微波仪器有限公司),内容包括 (WBMW-QXCJ4 任氏巨源微波化学气相沉积炉)的品牌、型号、技术参数、详细介绍等;如果您想了解更多关于 (WBMW-QXCJ4 任氏巨源微波化学气相沉积炉)的信息,请直接联系供应商,给供应商留言!
供应商产品推荐
    您可能感兴趣的产品