GM-7060 GM-7060光罩技术全自动影像测量仪

GM-7060光罩技术全自动影像测量仪

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• 主要特点

• 产品特点：
  　* 基座、立柱、工作台全机采用精密00级花岗岩，降低形变系数，稳定性高；
  　* 三轴高精度伺服马达传动；
  　* 七海*光罩技术测量仪，无光学尺和编码器，无阿贝误差，精度不受机械误差影响；
  　* 技术突破，悬臂式大行程影像测量仪，高精度，无累计误差；
  　* 可搭配激光测头应用；
  　* 搭配七海专业版测量软件EF系列软件；
  　* 芯片、电路板、铭版、印刷、Touch Panel等专用测量机型。
   

  技术参数：

  型号		GM-7060
  行程（mm）	X	700
  	Y	600
  	Z	100
  外型尺寸		1860x1270x1680
  工作台大小		1020x920
  工作台承重（kg）		5kg
  机台重量		800kg
  轴向测量精度		XY（3um+5L/1000）um
  平面精度		< 5 μm
  控制方式		自动
  摄像机		SOV-A级高解析1/3” 彩色CCD
  		SOV-A 级测量专用型镜头
  光源	轮廓光	LED，亮度连续可调
  	表面光	LED，亮度连续可调
  放大倍数		30x-200x（光学放大倍率为0.7-4.5倍）
  选配功能		七海 16向全视角旋转灯源系统
  		七海 12段自动变焦镜头
  		美国NAVITA测量专用镜头
  		触发测头探针组（智慧型探针测量系统）
  		激光位移感测系统
  工作距离		90mm
  电源		220 V ± 10% ，50 Hz （用电设备要求接地可靠：接地电阻小于4欧姆）
  工作环境		20℃ ± 2℃，温度变化＜2℃/hr，湿度45% ~ 75%
  		振动＜0.002g，低于15Hz

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